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線(xiàn)性壓電撓性位移臺

PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導精度與最小的串擾相結合。這使得它們特別適合于計量，微觀(guān)過(guò)程，干涉測量或半導體芯片生產(chǎn)檢查系統中的參考應用。

帶有PICMA®壓電執行器驅動(dòng)器和撓性導軌的線(xiàn)性壓電平臺可用于最大1.5 mm的行程。

型號介紹：

壓電撓性線(xiàn)性平臺

P-630高動(dòng)態(tài)壓電納米定位系統

1軸大孔徑

P-753 LISA線(xiàn)性執行器和平臺

動(dòng)態(tài)穩定

P-752高精度納米定位臺

高動(dòng)態(tài)和穩定的壓電掃描儀，具有極其精確的引導

PI P-750

P-750壓電納米定位系統

具有直接計量功能的高負載壓電驅動(dòng)納米定位系統

P-611.1線(xiàn)性壓電定位系統

廉價(jià)，緊湊的線(xiàn)性定位系統

PI P-712

P-712線(xiàn)性壓電掃描儀

緊湊型OEM系統

P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線(xiàn)性精密定位器

可變行程范圍和軸配置

壓電撓性垂直平臺

P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器

可變行程范圍和軸配置

S-303壓電移相器

高動(dòng)態(tài)，納米級精密壓電移相器

P-733.Z高動(dòng)態(tài)Z納米定位儀/掃描儀

直接位置測量和通光孔徑

P-612.Z壓電Z舞臺

帶孔的緊湊型納米定位器

P-611.Z壓電Z舞臺

緊湊型納米定位器

特色定制

PI P-725KHDS

P-725KHDSPIFOC®高動(dòng)態(tài)物鏡掃描儀

重型物鏡的納米分辨率