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      德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器

          

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      品牌PI 有效期至長(cháng)期有效 最后更新2020-05-19 09:18
      X,Y的行程范圍100 μm×100 μm Z的行程范圍10 μm 電容式傳感器的分辨率0.1 nm
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      德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器

      郜賽楠
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      德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器

      特點(diǎn):

      ·         X,Y的行程范圍為100 µm×100 µm,Z的行程范圍為10 µm

      ·         電容式傳感器的分辨率可達0.1 nm

      ·         直接驅動(dòng)的高速版本

      ·         超高真空兼容和非磁性版本

      ·         并聯(lián)運動(dòng)學(xué)可實(shí)現更高的精度和動(dòng)力學(xué)

      ·         并行計量,可主動(dòng)補償導向誤差

      ·         零間隙,高精度撓曲導向系統

      ·         透明孔徑50 mm×50 mm,用于透射光應用

      應用領(lǐng)域

      ·         掃描顯微鏡

      ·         共聚焦顯微鏡

      ·         掩膜/晶圓定位

      ·         表面測量技術(shù)

      ·         納米壓印

      ·         顯微操作

      ·         圖像處理/穩定

      ·         納米定位具有很高的平面度和運動(dòng)平直度

      電容式傳感器的亞納米分辨率

      電容式傳感器在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運動(dòng)線(xiàn)性,長(cháng)期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。

      自動(dòng)配置和快速的組件更換

      機械和控制器可以根據需要進(jìn)行組合,并可以快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí),數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )使用此數據。

      適用于復雜的真空應用

      壓電系統中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無(wú)需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統可實(shí)現極低的除氣率。

      PICMA®壓電執行器,使用壽命長(cháng)

      獲得專(zhuān)利的PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。事實(shí)證明,沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。

      零游隙撓性導軌,導向精度高

      撓性導板無(wú)維護,無(wú)摩擦和無(wú)磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可以在寬溫度范圍內工作。

      平行位置測量,在納米范圍內具有很高的跟蹤精度

      所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考??梢詫?shí)時(shí)地(取決于帶寬)主動(dòng)補償與另一軸發(fā)生的不必要的運動(dòng)串擾(主動(dòng)引導)。即使在動(dòng)態(tài)操作中,也可以在納米范圍內實(shí)現高跟蹤精度。

      聯(lián)系方式
      北京漢達森機械技術(shù)有限公司
      總部地址:北京市順義區 旭輝空港中心 C-1035
      電話(huà):010-64714988/010-64717020
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