高艷春
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PI (Physik Instrumente)U-521 PILine線(xiàn)性平臺
U-521 PILine線(xiàn)性平臺
帶超聲波壓電電機的緊湊型線(xiàn)性平臺
U-521
PILine線(xiàn)性平臺
? 快速精密定位小型負載:速度達200毫
米/秒,最小位移達0.3微米
? 節省空間:寬僅35毫米、高僅15毫米
? 關(guān)機后自鎖:節約能量,減少熱量產(chǎn)生
? 靜音
? 可按需提供定制版本
精密級線(xiàn)性定位平臺
PILine平臺尤其適合要求快速精密定位的應用。關(guān)機后,自鎖驅動(dòng)器保持平臺位置的機械穩定。因而可大大減少能量
消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅動(dòng)或熱敏型的低占空比應用可得益于這些特點(diǎn)。軸的位置通過(guò)一個(gè)編碼器和一個(gè)光學(xué)參考
開(kāi)關(guān)測量,該開(kāi)關(guān)允許可靠的可重復運動(dòng)。壓電電機驅動(dòng)器原理及其電氣操作成本低,可定制。
PILine超聲波壓電電機
作為PILine超聲波壓電電機不可或缺的一部分,壓電陶瓷促動(dòng)器上被施加預載,通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導向轉子
。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下,壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動(dòng)器的變形使耦合元件
相對于轉子產(chǎn)生周期性的對角運動(dòng)。建立的進(jìn)給為幾納米每循環(huán);高頻率帶來(lái)高速度。在壓電陶瓷促動(dòng)器上相對于動(dòng)
輪施加預載可確保驅動(dòng)器在靜止狀態(tài)下和關(guān)機時(shí)自鎖。
增量編碼器用于高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線(xiàn)性效應、機械作用或彈性形變不會(huì )對測量造成影響。
應用領(lǐng)域
顯微操縱、自動(dòng)化、生物科技、樣本操縱、樣本定位、有限空間內的應用、真空應用可達10-6百帕(可選).
訂購信息
U-521.23
帶PILine
超聲波壓電電機的小型線(xiàn)性平臺,寬度為35毫米,驅動(dòng)力為2牛,行程為18毫米。采用增量編碼器實(shí)現直接位置測量
,0.4微米分辨率,Sub-D連接器
U-521.24
帶PILine
超聲波壓電電機的小型線(xiàn)性平臺,寬度為35毫米,驅動(dòng)力為2牛,行程為18毫米。采用增量編碼器實(shí)現直接位置測量
,0.1微米分辨率,Sub-D連接器
U-521.23V
帶PILine
超聲波壓電電機的小型線(xiàn)性平臺,寬度為35毫米,驅動(dòng)力為2牛,行程為18毫米。采用增量編碼器實(shí)現直接位置測量
,0.4微米分辨率,Sub-D連接器,真空兼容至10-6百帕