PI (Physik Instrumente)線(xiàn)性促動(dòng)器

楊文輝 QQ：2850590598   手機：18301216381 電話(huà)：010-64717020-111 傳真：010-84786709-666 郵件：sales11@handelsen.cn

PI不僅開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執行器，用于線(xiàn)性，旋轉和垂直運動(dòng)或不同軸的組合。 因此，PI可以將這些解決方案應用于客戶(hù)特定應用，或者提供用于運動(dòng)和定位的成品子系統。

PI是技術(shù)先進(jìn)的以運動(dòng)為中心的解決方案的供應商，因此使用專(zhuān)有的驅動(dòng)組件和高精度定位器。 所有級別的集成都可以達到使用不同驅動(dòng)技術(shù)（包括運動(dòng)控制）的多軸組合。

多年來(lái)，運動(dòng)子系統的工程設計一直是PI核心業(yè)務(wù)的一部分。 定制解決方案，無(wú)縫融入現有流程，推動(dòng)芯片生產(chǎn)或光子封裝制造和檢測流程的自動(dòng)化以及主要研究設施。

精密部件是高質(zhì)量多軸設計的基礎
成功的關(guān)鍵是PI Group的全部知識和經(jīng)驗。 通過(guò)一家供應商提供的廣泛標準產(chǎn)品組合，可輕松實(shí)現定制解決方案。 PI提供系統的所有組件并配置多軸結構。

長(cháng)行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

應用領(lǐng)域

?工業(yè)級精度定位

?半導體技術(shù)

?半導體測試

?晶圓檢測

?平版印刷術(shù)

?納米壓印

?納米測量

?強磁場(chǎng)和真空中運動(dòng)

采用PiezoWalk步進(jìn)驅動(dòng)實(shí)現納米精度和大進(jìn)給力

數個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在

PiezoWalk步進(jìn)驅動(dòng)中執行步進(jìn)運動(dòng)，將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠低于一納米的分

辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運動(dòng)。

增量

編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)

編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線(xiàn)性效應、機械作用或彈性形變不會(huì )對測量造成影響。

適用于復雜真空應用PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場(chǎng)中運行。驅動(dòng)器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅動(dòng)器還可用于有較強紫外線(xiàn)輻射的無(wú)塵室或環(huán)境中。

規格

N-216.101 / N

-216.1A1N

-216.201 / N

-216.2A1

公差N-216NEXLINE

線(xiàn)性促動(dòng)器

?力量生成達600牛

?保持力達800牛

?行程20毫米

?帶分辨率的集成式直接測量線(xiàn)性編碼器5納米

訂購信息

N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器，20毫米，300牛，開(kāi)環(huán)

N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器，20毫米，300牛，線(xiàn)性編碼器，5納米分辨率

N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器，20毫米，600牛，開(kāi)環(huán)

N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器，20毫米，600牛，線(xiàn)性編碼器，5納米分辨率