PI(Physik Instrumente)位移平臺功能介紹

1.PI XY位移平臺

高精度的2軸納米定位系統集成了PICMA®壓電執行器，以實(shí)現大的可靠性。通過(guò)使用高質(zhì)量的納米計量傳感器，可以實(shí)現具有佳穩定性的可重復，無(wú)漂移的定位

用于小負載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過(guò)程。它們的快速步進(jìn)運動(dòng)提高了光學(xué)系統的分辨率。這些包括相機技術(shù)中的成像過(guò)程和圖像識別，例如用于生物識別或文檔存檔。PI位移平臺漢達森吳亞男

型號介紹：

緊湊型XY壓電位移臺

P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統

P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺：行程范圍可變的高精度XY納米定位器

XY壓電撓性位移臺

P-612.2 XY壓電納米定位系統：緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺：大口徑薄型XY納米定位系統
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P-733.2 XY壓電納米定位器：高精度XY光圈掃描儀

P-734 XY壓電掃描儀：具有小跳動(dòng)和清晰光圈的高動(dòng)力系統

P-763緊湊型XY納米定位系統：光圈清晰低剖面，經(jīng)濟高效的壓電掃描儀，用于生物識別：CCD芯片可在兩個(gè)軸上動(dòng)態(tài)移動(dòng)，以提高像素分辨率

P-713 XY壓電掃描儀：具有成本效益的低矮OEM系統

P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統

P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統：快速XY(Z)平臺用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡

2.PI XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)PI位移平臺漢達森吳亞男

零游隙撓性導軌，導向精度高PI位移平臺漢達森吳亞男

撓性導板無(wú)維護，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100%真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內工作。

平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考?？梢詫?shí)時(shí)地(取決于帶寬)主動(dòng)補償與另一軸發(fā)生的不必要的運動(dòng)串擾(主動(dòng)引導)。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內實(shí)現高跟蹤精度。

型號介紹：

P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀

P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運動(dòng)壓電系統，用于納米定位和光纖對準
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P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統：緊湊的多軸壓電系統，用于納米定位和光纖對準

P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺：高精度納米定位器，多可容納3個(gè)軸

P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動(dòng)態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統

P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統：快速XY(Z)平臺用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡

緊湊型精密XYZ納米掃描儀

P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：高動(dòng)態(tài)納米定位系統，用于掃描探針顯微鏡

P-313 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：皮克計精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡
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3.PI 線(xiàn)性壓電撓性位移臺

PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導精度與小的串擾相結合。這使得它們特別適合于計量，微觀(guān)過(guò)程，干涉測量或半導體芯片生產(chǎn)檢查系統中的參考應用。

帶有PICMA®壓電執行器驅動(dòng)器和撓性導軌的線(xiàn)性壓電平臺可用于大1.5 mm的行程。

型號介紹：

壓電撓性線(xiàn)性平臺

P-630高動(dòng)態(tài)壓電納米定位系統：1軸大孔徑

P-753 LISA線(xiàn)性執行器和平臺：動(dòng)態(tài)穩定

P-752高精度納米定位臺：高動(dòng)態(tài)和穩定的壓電掃描儀，具有極其精確的引導

P-750壓電納米定位系統：具有直接計量功能的高負載壓電驅動(dòng)納米定位系統

P-611.1線(xiàn)性壓電定位系統：廉價(jià)，緊湊的線(xiàn)性定位系統
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P-712線(xiàn)性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統

P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線(xiàn)性精密定位器：可變行程范圍和軸配置

壓電撓性垂直平臺

P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置

S-303壓電移相器：高動(dòng)態(tài)，納米級精密壓電移相器

P-733.Z高動(dòng)態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑

P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器

P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器
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特色定制

PI P-725KHDS

P-725KHDSPIFOC®高動(dòng)態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率

4.PI 微型六足動(dòng)物

Q-Motion®壓電位移臺內置了小的6自由度運動(dòng)設備，也提供手掌大小的BLDC電機六足位移臺。

使用的運動(dòng)設計取決于應用中單個(gè)軸上運動(dòng)的重要性。經(jīng)典的平行運動(dòng)六腳架設計可實(shí)現佳的整體性能均勻性。當需要相對較大的線(xiàn)性運動(dòng)時(shí)，好采用薄型設計。

好使用采用PI的利PICMA®或PiezoWalk®驅動(dòng)技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。

H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：快速，緊湊，高精度

H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對準的理想選擇

H-811.S2 6軸運動(dòng)六腳架：快速而緊湊的高動(dòng)態(tài)應用

H-810 6軸微型六腳架：最小空間內的高精度

P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強磁場(chǎng)中也能進(jìn)行高精度定位

5.PI 微型線(xiàn)性平臺

微型階段對于在可用空間有限的定位任務(wù)中至關(guān)重要。諸如Q-motion®，PIline®和PiezoWalk®之類(lèi)的壓電電機解決方案由于具有直接驅動(dòng)原理，因此可實(shí)現緊湊的平臺。

型號介紹：

帶有Q-Motion®，PILine®和PiezoWalk®驅動(dòng)器的微型平臺
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U-523PILine®線(xiàn)性平臺：帶有超聲波壓電電機的緊湊型線(xiàn)性平臺

Q-521 Q?Motion®微型線(xiàn)性平臺：具有位置控制，高分辨率和價(jià)格合理的最小線(xiàn)性平臺

PI N-565 1200精度高的N-565線(xiàn)性平臺：具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅動(dòng)器

U-521PILine®線(xiàn)性平臺：帶有超聲波壓電電機的緊湊型線(xiàn)性平臺

Q-545 Q?Motion®精密線(xiàn)性平臺：壓電馬達帶來(lái)的高力和小設計，帶有PIMag®VC VoiceCoil和三相直線(xiàn)電機，步進(jìn)，直流和無(wú)刷直流電機的微型平臺

M-110•M-111•M-112緊湊型線(xiàn)性平臺：XY(Z)組合，具有各種驅動(dòng)器和行程范圍

L-306緊湊型精密Z工作臺：緊湊設計，多軸組合

L-505緊湊型線(xiàn)性平臺：帶直流或步進(jìn)電機

V-408PIMag®線(xiàn)性平臺：便宜，帶直線(xiàn)電機

V-508PIMag®精密線(xiàn)性平臺：多種選項可適應需求

L-402微型線(xiàn)性平臺：帶直流或步進(jìn)電機
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A-141 PIglide MB微型線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承：高性能，無(wú)塵室兼容，可定制

V-522•V-524•V-528高性能PIMag®線(xiàn)性平臺：帶直接位置測量的音圈直接驅動(dòng)

M-122.2DD1微翻譯平臺：具有直接位置測量功能的緊湊型線(xiàn)性平臺

M-105微翻譯平臺：精密交叉滾子導軌，PiezoMike選件，XY(Z)組合

MTS-65微型線(xiàn)性平臺：工業(yè)用途的堅固設計

L-406緊湊型線(xiàn)性平臺：對于10公斤的負載

6.PI 微型旋轉臺

帶有壓電馬達的旋轉平臺使尺寸特別緊湊。
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顯微鏡的許多應用要求自由光通過(guò)。這些緊湊的旋轉平臺還可以用于光學(xué)應用中，在這些應用中，它們可以可靠地定位濾光片，并具有出色的可重復性。

旋轉平臺可以安裝在沒(méi)有適配器的線(xiàn)性平臺上，并且可以靈活組合多軸定位系統。

帶有Q-Motion和PILine®驅動(dòng)器的微型旋轉臺

U-622PILine®旋轉平臺：超聲波壓電馬達微型載物臺 ，具有薄型設計的U-651旋轉平臺，快速PILine®直接驅動(dòng)和中央開(kāi)口

U-624PILine®旋轉平臺：超聲波壓電馬達微型載物臺

Q-632 Q?Motion®旋轉臺：緊湊型壓電電機：轉臺直徑30 mm，帶有步進(jìn)，直流和無(wú)刷直流(BLDC)電機的微型旋轉臺

V-611PIMag®旋轉平臺：高扭矩的扁平設計，最大承重2 kg
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RS-40緊湊型旋轉臺：精確定位

V-610緊湊型PIMag®旋轉臺：緊湊，適用于M-110的多軸組合

DT-80緊湊型旋轉臺：大光圈

DT-34微型旋轉臺：尺寸緊湊，帶直流或步進(jìn)電機

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PI(Physik Instrumente)位移平臺功能介紹

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