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      PI動(dòng)態(tài)納米定位器P-363系列參數

          

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      品牌PI 有效期至長(cháng)期有效 最后更新2021-04-23 13:51
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      PI動(dòng)態(tài)納米定位器P-363系列參數

        PI動(dòng)態(tài)納米定位器P-363系列參數

      P-363 筆克管 XY (Z) 皮佐掃描儀

      用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位器

      · 用于自動(dòng)對焦 /SPM 的超高性能閉環(huán)掃描儀

      · 用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操作工具

      · 共振頻率 9.8 kHz,PI動(dòng)態(tài)納米定位器吳亞男用于特別快速的掃描

      · 引導誤差自動(dòng)補償的并行測量技術(shù)

      · 分辨率 50 象形儀

      · 旅行范圍 5 μm × 5 μm × 5 μm

       

       PI動(dòng)態(tài)納米定位器

       

      P-363.3CD

      P-363.2CD

      單位

      浮動(dòng)值

      活動(dòng)軸

      X、Y、Z

      X, Y

       

       

      運動(dòng)和定位

       

       

       

       

      集成傳感器

      電容的

      電容的

       

       

      旅行范圍在 X, Y 在 -250 到 +250 V, 打開(kāi)循環(huán)

      ±3

      ±3

      μm

      20%

      Z 中的旅行范圍為 -250 至 +250 V,打開(kāi)環(huán)路

      ±2.7

      -

      μm

      20%

      X、Y、閉環(huán)旅行范圍

      ±2.5

      ±2.5

      μm

       

      Z 中的旅行范圍,閉環(huán)

      ±2.5

      -

      μm

       

      分辨率,打開(kāi)循環(huán)*

      0.03

      0.03

      納米

      泰普

      分辨率,閉環(huán)

      0.1

      0.1

      納米

       

      線(xiàn)性錯誤

      0.05

      0.05

      %

      泰普

      可重復性**

      1

      1

      納米

      泰普

      投/偏航在X,Y

      0.5

      0.5

      烏拉德

      泰普

      以 Z 中運動(dòng)傾斜

      0.2

      -

      烏拉德

      泰普

      X、Y中的直度

      3

      3

      納米

      泰普

      X、Y中的平整度

      •lt:10

      •lt:10

      納米

      泰普

      Z中運動(dòng)的相聲

      5

      -

      納米

      泰普

      機械特性

       

       

       

       

      X,Y中的共振頻率,卸載

      3.1

      4.2

      千 赫

      ±20%

      Z中的共振頻率,卸載

      9.8

      -

      千 赫

      ±20%

      X、Y負載下的共振頻率

      1.5 (20 克)

      2.1 (20 克)

      千 赫

      ±20%

      負載容量

      10

      10

      N

      max

      陶瓷類(lèi)型

      皮卡, 皮卡剪

      皮卡剪切

       

       

      雜項

       

       

       

       

      工作溫度范圍

      -20 至 80

      -20 至 80

      °C

       

      材料

       

       

      尺寸

      30 毫米× 30 毫米× 40 毫米

      30 毫米× 30 毫米× 28 毫米

       

       

      質(zhì)量

      225

      190

      g

      ±5%

      電纜長(cháng)度

      1.5

      1.5

      m

      ±10毫米

      傳感器/電壓連接器

      D-子 24W7 (m)

      D-子 24W7 (m)

       

       

      推薦電子產(chǎn)品

      E-536

      E-536

       

       

       

      應用范圍

      · 掃描探針顯微鏡

      · 原子力顯微鏡

      · 掃描和篩選

      由于零播放彈性指南,指導精度高

      Flexure 指南不含維護、摩擦和磨損,不需要潤滑。PI動(dòng)態(tài)納米定位器吳亞男 它們的剛度允許高負載容量,并且對沖擊和振動(dòng)麻木不仁。它們 100% 真空兼容,在寬溫范圍內工作。

      由于平行位置測量,納米范圍內的跟蹤精度很高

      所有自由度都是用一個(gè)固定的參考來(lái)衡量的。PI動(dòng)態(tài)納米177定1858位3804器軸之間不受歡迎的相聲可以實(shí)時(shí)(取決于帶寬)得到積極補償(主動(dòng)引導)。即使在動(dòng)態(tài)操作中,納米范圍內也會(huì )實(shí)現高跟蹤精度。

      帶電容傳感器的子納米分辨率

      電容式傳感器在不接觸的情況下使用亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了 kHz 范圍內出色的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和帶寬。

      自動(dòng)配置和快速組件交換

      力學(xué)和控制器可以根據需要進(jìn)行組合并快速交換。PI動(dòng)態(tài)納米177定1858位3804器 所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在力學(xué) D 子連接器的 ID 芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí),數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )使用此數據。

       PI位移臺

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      PI動(dòng)態(tài)納米定位器P-363系列參數
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