德國PI 精密移臺 N-765 Z向位 參數

PI (Physik Instrumente) 集團

PI在精密定位領(lǐng)域的卓越技術(shù)，新的驅動(dòng)概念、產(chǎn)品和系統解決方案在過(guò)去幾年中為PI集團帶來(lái)了持續不斷的市場(chǎng)份額增長(cháng)和健康的公司發(fā)展。高度垂直化的制造使

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PI (Physik Instrumente)簡(jiǎn)介

PI集團全球共有六個(gè)生產(chǎn)點(diǎn)，四家位于德國，兩家位于海外，全球超過(guò)1000位員工，關(guān)鍵市場(chǎng)中有15家子公司，超過(guò)284項專(zhuān)利和專(zhuān)利申請，40多年的壓電陶瓷技術(shù)經(jīng)驗。

PI (Physik Instrumente)  N-765 精密Z向位移臺

--------具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅動(dòng)器

1.      采用PIOne增量編碼器實(shí)現直接測量，分辨率為0.5納米

2.      最小位移達1納米

3.      行程為6.5毫米

4.      負載能力達25牛

5.      可以直接安裝在N-565線(xiàn)性定位器上

NEXACT®參考級線(xiàn)性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅動(dòng)器的線(xiàn)性定位器可實(shí)現較長(cháng)行程范圍內的納米級高精度定位。其配置直接測量線(xiàn)性編碼器和交叉滾柱軸承，可實(shí)現最高精度。緊湊、扁平的設計使定位器能輕松實(shí)現機械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動(dòng)器與壓電電機的技術(shù)優(yōu)勢結合在一起。PiezoWalk®步進(jìn)驅動(dòng)器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據其驅動(dòng)原理，其還能實(shí)現理論上無(wú)限的行程。不同于其他壓電機動(dòng)化驅動(dòng)器原理，PiezoWalk®步進(jìn)驅動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦作用的影響。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器的靜摩擦接觸，這幾個(gè)促動(dòng)器沿一個(gè)動(dòng)輪步進(jìn)。前饋時(shí)，促動(dòng)器被從動(dòng)輪處物理提升，幾乎不會(huì )造成任何磨損。在促動(dòng)器上相對于動(dòng)輪施加預載可確保步進(jìn)驅動(dòng)器自鎖。因此，步進(jìn)驅動(dòng)器靜止狀態(tài)下將保持位置，關(guān)機時(shí)可實(shí)現機械穩定（無(wú)伺服抖動(dòng)）。靜止狀態(tài)自鎖，無(wú)能量消耗，無(wú)熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線(xiàn)性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數據進(jìn)行相應處理后，可實(shí)現遠低于1納米的位置分辨率。光學(xué)非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運動(dòng)平臺上進(jìn)行實(shí)際位置測量，因此非線(xiàn)性效應、機械作用或彈性形變不會(huì )對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線(xiàn)性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號時(shí)支持方向感應。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線(xiàn)接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實(shí)現了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個(gè)特征是高導向精度和負載能力。滾動(dòng)主體架的受迫導向防止滾柱軸承發(fā)生蠕變。

應用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩定性光學(xué)或機械部件、半導體行業(yè)中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動(dòng)化、有限空間內的應用、真空或無(wú)磁性環(huán)境中的應用。

德國PI 精密移臺 N-765 Z向位 參數 

 PI (Physik Instrumente)  N-765 精密Z向位移臺

規格參數

主動(dòng)軸：Z

行程：6.5毫米

系統分辨率: 0.5納米

集成傳感器: PIOne線(xiàn)性編碼器：增量，光學(xué)，直 接測量

傳感器分辨率: 0.5納米

最小位移:1納米

速度，閉環(huán):2.5毫米/秒

單向重復精度:6納米

雙向重復性:7納米

Z向運動(dòng)時(shí)X向上的線(xiàn)性串擾:1.8微米

Z向運動(dòng)時(shí)Y向上的線(xiàn)性串擾:2微米

Z向運動(dòng)時(shí)θX向上的轉動(dòng)串擾:25微弧度

Z向運動(dòng)時(shí)θY向上的轉動(dòng)串擾:41微弧度

Z向運動(dòng)時(shí)θZ向上的轉動(dòng)串擾:34微弧度

最大負載容量:25牛

電機類(lèi)型: NEXACT壓電陶瓷步進(jìn)驅動(dòng)器

驅動(dòng)力:20牛

保持力（被動(dòng)）:25牛

工作電壓:-10到45伏

工作溫度范圍: 10至50 °C

質(zhì)量: 920克

材料: 鋁，陽(yáng)極氧化致黑

電纜長(cháng)度:3米

連接器: HD Sub-D 15針（公頭）

傳感器連接器: Sub-D 15（母頭）

推薦電控: E-861.1A1

訂購信息

N-765·060 精密Z向位移臺，行程為6.5毫米，PIOne線(xiàn)性編碼器，分辨率為0.5納米，

推/拉力為25牛，尺寸為65 X 110x56毫米（寬 × 長(cháng) × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅動(dòng)器.

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