德國 Physik Instrumente P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

 

在過(guò)去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的領(lǐng)先制造商。創(chuàng )業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動(dòng)機始終保持不變：為客戶(hù)找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名，多年來(lái)一直是全球精密定位技術(shù)市場(chǎng)的領(lǐng)導者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內部的團隊精神，其基礎是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。

PI是一家擁有健康增長(cháng)的私營(yíng)公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個(gè)靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺能夠滿(mǎn)足創(chuàng )新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。

PI的首要任務(wù)是成為客戶(hù)的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運動(dòng)和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應商。

 

應用領(lǐng)域

六腳架支持工業(yè)機器人科學(xué)儀器

半導體技術(shù)

顯微鏡檢查

硅光子學(xué)

醫療技術(shù)

材料研究

機械工業(yè)

自動(dòng)化

梁線(xiàn)儀器

添加劑制造

主動(dòng)對準

 

部分產(chǎn)品分類(lèi)及介紹

 

納米定位壓電撓性位移臺

PI的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導向精度與最小的串擾相結合。這使得它們特別適合于計量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導體芯片生產(chǎn)檢查系統中的應用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動(dòng)態(tài)掃描，在高達6的自由度下可達到幾百赫茲。

專(zhuān)有傳感器設計，無(wú)摩擦撓性導軌和長(cháng)壽命PICMA®壓電執行器的獨特結合，使機器具有出色且堅固的機械性能。壓電運動(dòng)控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過(guò)數字或模擬接口進(jìn)行集成，并進(jìn)行舒適的編程。

 

1.多軸壓電撓性位移臺

PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達6個(gè)軸上以亞納米級的精度進(jìn)行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運動(dòng)。版本范圍從最緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應用包括樣品調整，技術(shù)，光學(xué)計量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統均已出廠(chǎng)校準，并隨測量記錄一起提供。 

 

P-616NanoCube®納米定位器

緊湊的并聯(lián)運動(dòng)壓電系統，用于納米定位和光纖對準

應用領(lǐng)域：

光纖定位和對準

掃描顯微鏡

2-光子聚合

納米技術(shù)與納米制造

光子學(xué)/集成光學(xué)

顯微操作

樣品定位

 

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運動(dòng)線(xiàn)性，長(cháng)期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )使用此數據。

適用于復雜的真空應用

壓電系統中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無(wú)需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統可實(shí)現極低的脫氣率。

PICMA®壓電執行器，使用壽命長(cháng)

專(zhuān)利的PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。已證明沒(méi)有任何故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無(wú)維護，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內工作。

通過(guò)并聯(lián)運動(dòng)學(xué)實(shí)現高動(dòng)態(tài)多軸運行

在并聯(lián)運動(dòng)多軸系統中，所有執行器都作用在一個(gè)公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設計允許快速，動(dòng)態(tài)且仍然精確的運動(dòng)。

 

P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位儀

應用領(lǐng)域：

掃描探針顯微鏡

原子力顯微鏡

掃描和篩選

 

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無(wú)維護，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內工作。

平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為基準進(jìn)行測量。軸之間不需要的串擾可以實(shí)時(shí)（根據帶寬）得到主動(dòng)補償（主動(dòng)引導）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內實(shí)現高跟蹤精度。

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運動(dòng)線(xiàn)性，長(cháng)期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )使用此數據。

 

2.用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀

PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)方面具有很高的動(dòng)態(tài)性。標準產(chǎn)品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。

平臺也可以在系統中方便地與控制器，所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀也已通過(guò)測量記錄進(jìn)行了預校準。 

 

V-308物鏡音圈PIFOC聚焦驅動(dòng)器

用于顯微鏡物鏡的高動(dòng)態(tài)定位器

 

使用PIFOC對目標進(jìn)行Z定位

在許多檢查或顯微鏡技術(shù)中，都需要將樣品沿Z方向（即沿物鏡的光軸）定位?？商娲?，可以在Z方向上移動(dòng)物鏡本身。為此，PI提供了名為PIFOC的解決方案。

PIMag®音圈電機

音圈馬達是直接驅動(dòng)器。在直接驅動(dòng)中，驅動(dòng)元件的力直接傳遞到要移動(dòng)的負載上，而無(wú)需使用機械傳??遞元件，例如聯(lián)軸器，驅動(dòng)螺桿或齒輪箱。音圈驅動(dòng)器由位于磁場(chǎng)氣隙中的永磁體和繞組體組成。當電流流經(jīng)繞組時(shí)，它會(huì )在永磁體的磁場(chǎng)中移動(dòng)。音圈驅動(dòng)器由于其重量輕且無(wú)摩擦的驅動(dòng)原理，特別適合要求在有限行程范圍內實(shí)現高動(dòng)力和高速度的應用。這些驅動(dòng)器還可以實(shí)現高掃描頻率和精確定位，因為它們不受磁滯的影響。

直接位置測量

直接在運動(dòng)平臺上以最高的精度執行位置測量，因此非線(xiàn)性，機械游隙或彈性變形對位置測量沒(méi)有影響。

集成重力補償

該產(chǎn)品配備了磁力稱(chēng)重補償。即使沒(méi)有通電，也可以保持垂直于運動(dòng)軸的最大1 kg負載的位置。重力補償可由用戶(hù)調整。

交叉滾子導軌

對于交叉的滾柱導軌，滾珠導軌中滾珠的點(diǎn)接觸被硬化滾柱的線(xiàn)接觸所代替。因此，它們更堅固，需要的預緊力更小，從而減少了摩擦并實(shí)現了順暢的運行。交叉滾子導向裝置還具有較高的導向精度和承載能力。力引導的滾動(dòng)體保持架可防止保持架蠕變。

應用領(lǐng)域

顯微鏡：多光子熒光顯微鏡，深層組織檢查，數字玻片掃描顯微鏡。生物技術(shù)：采用Solexa-Illumina方法進(jìn)行基因組測序，免疫分析熒光。

醫療設備：掃描激光眼科，自動(dòng)細胞計數器/流式細胞儀。生物醫學(xué)研究：光學(xué)和磁性鑷子。激光材料加工：激光微加工，激光燒蝕。半導體行業(yè)：半導體/晶圓檢查。

 

PD72Z2x•PD72Z4x PIFOC物鏡掃描系統400 µm

高動(dòng)態(tài)壓電驅動(dòng)器，可實(shí)現亞納米分辨率

 

應用領(lǐng)域

顯微鏡檢查

共聚焦顯微鏡

3D成像

篩選

自動(dòng)對焦系統

表面分析

晶圓檢查

多光子顯微鏡

直接位置測量帶來(lái)最高的精度

直接在運動(dòng)平臺上測量運動(dòng)，而不受驅動(dòng)或導向元件的任何影響。這樣可以實(shí)現最佳的可重復性，出色的穩定性以及快速響應的剛性控制。

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運動(dòng)線(xiàn)性，長(cháng)期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。

豐富的軟件可快速啟動(dòng)生產(chǎn)運營(yíng)

得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見(jiàn)操作系統（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個(gè)環(huán)境中快速有效地實(shí)現。復雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運營(yíng)的時(shí)間。

 

ND72Z2LAQ PIFOC物鏡掃描系統2000 µm

納米分辨率和快速步進(jìn)和穩定

 

應用領(lǐng)域

雙光子顯微鏡

共聚焦顯微鏡

3D成像

激光技術(shù)

干涉儀

生物技術(shù)

顯微操作

自動(dòng)對焦，適合長(cháng)途旅行

使用增量線(xiàn)性編碼器進(jìn)行高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線(xiàn)性，機械間隙或彈性變形對測量沒(méi)有影響。

PiezoWalk®行走驅動(dòng)器可實(shí)現納米級精度和高進(jìn)給力

多個(gè)壓電執行器在PiezoWalk®行走驅動(dòng)器中執行行走運動(dòng)，從而導致跑步者向前進(jìn)給。致動(dòng)器的控制允許最小的步進(jìn)和正向進(jìn)給運動(dòng)，其分辨率遠低于1納米。

豐富的軟件可快速啟動(dòng)生產(chǎn)運營(yíng)

得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見(jiàn)操作系統（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個(gè)環(huán)境中快速有效地實(shí)現。復雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運營(yíng)的時(shí)間。

 

 

 

 

 

德國 Physik Instrumente U-523PILine®線(xiàn)性平臺

 

品牌簡(jiǎn)介

在過(guò)去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的領(lǐng)先制造商。創(chuàng )業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動(dòng)機始終保持不變：為客戶(hù)找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名，多年來(lái)一直是全球精密定位技術(shù)市場(chǎng)的領(lǐng)導者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內部的團隊精神，其基礎是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。

PI是一家擁有健康增長(cháng)的私營(yíng)公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個(gè)靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺能夠滿(mǎn)足創(chuàng )新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。

PI的首要任務(wù)是成為客戶(hù)的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運動(dòng)和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應商。

 

應用領(lǐng)域

六腳架支持工業(yè)機器人科學(xué)儀器

半導體技術(shù)

顯微鏡檢查

硅光子學(xué)

醫療技術(shù)

材料研究

機械工業(yè)

自動(dòng)化

梁線(xiàn)儀器

添加劑制造

主動(dòng)對準

 

線(xiàn)性平臺

PI提供了廣泛的電動(dòng)線(xiàn)性平臺產(chǎn)品組合。種類(lèi)繁多的應用還意味著(zhù)線(xiàn)性軸的技術(shù)可能性也非常廣泛。行程范圍從幾毫米到幾米，精度等級從納米到微米：PI使驅動(dòng)器，導向器或傳感器技術(shù)適應應用條件。

有許多不同型號的真空版本。多軸組合可借助轉接器支架實(shí)現，或者通過(guò)匹配的Z平臺和旋轉平臺更加緊湊。

運動(dòng)控制器可作為臺式設備，機架版本或緊湊型OEM設備使用。所有這些因素的共同因素是通過(guò)通用命令集（GCS）進(jìn)行命令，該命令簡(jiǎn)化了控制和編程，并且與驅動(dòng)器類(lèi)型無(wú)關(guān)。

可提供具有ACS運動(dòng)控制器的多軸工業(yè)應用中的多軸系統。這樣可確保通過(guò)Fieldbus接口輕松集成，以實(shí)現精密和以運動(dòng)為中心的工業(yè)應用。

 

1.U-523PILine®線(xiàn)性平臺

帶有超聲波壓電馬達的緊湊型線(xiàn)性平臺

精密級線(xiàn)性定位平臺

PILine®位移臺特別適合需要快速精確定位的應用。關(guān)閉時(shí)，自鎖驅動(dòng)器會(huì )以機械方式穩定工作臺的位置。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著(zhù)減少。這些特性使電池供電或對熱敏感的低占空比應用受益。軸的位置由編碼器測量，光學(xué)參考開(kāi)關(guān)可實(shí)現可靠的可重復運動(dòng)。壓電驅動(dòng)原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。

使用增量線(xiàn)性編碼器進(jìn)行高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線(xiàn)性，機械間隙或彈性變形對測量沒(méi)有影響。

PILine®超聲波壓電馬達

PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動(dòng)器，該壓電致動(dòng)器通過(guò)一個(gè)耦合元件預加載在可移動(dòng)的導向流道上。壓電陶瓷執行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動(dòng)器的變形導致聯(lián)接元件相對于轉輪周期性的對角運動(dòng)。每個(gè)周期產(chǎn)生的進(jìn)料為幾納米。高頻導致高速。將壓電陶瓷執行器預緊抵在轉輪上，可確保驅動(dòng)器在靜止和關(guān)閉時(shí)自動(dòng)鎖定。

應用領(lǐng)域

顯微操作，自動(dòng)化，生物技術(shù)，樣品處理，樣品定位，空間有限的應用，10 -6 hPa的真空應用（可選）。

 

2.精度最高的N-565線(xiàn)性平臺

具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅動(dòng)器

NEXACT®參考級線(xiàn)性平臺

帶有NEXACT®PiezoWalk®驅動(dòng)器的線(xiàn)性平臺可在長(cháng)行程范圍內在納米范圍內進(jìn)行高精度定位。它們配備有直接測量的線(xiàn)性編碼器和交叉滾子軸承，可實(shí)現最高的精度。

使用PIOne線(xiàn)性編碼器進(jìn)行直接位置測量

PI開(kāi)發(fā)了高分辨率的PIOne編碼器，并通過(guò)對測量值進(jìn)行相應的處理，使位置分辨率大大小于1納米。另外，由于信號周期短和信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線(xiàn)性誤差小于1％。PIOne編碼器在評估參考信號時(shí)支持方向感測。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率和低磨損

PiezoWalk®技術(shù)結合了壓電執行器和壓電馬達的技術(shù)優(yōu)勢。PiezoWalk®行走驅動(dòng)器不僅提供亞納米級分辨率，高作用力和高剛度，而且理論上允許無(wú)限的行駛范圍。與其他壓電驅動(dòng)原理相反，PiezoWalk®行走驅動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦的影響。它們基于沿著(zhù)滑道步進(jìn)的多個(gè)壓電執行器的靜摩擦接觸。靜止時(shí)，PiezoWalk®行走驅動(dòng)器是自鎖的，不消耗能量，并且不發(fā)熱。

應用領(lǐng)域

樣品處理，樣品定位，具有高精度和穩定性的光學(xué)或機械組件，半導體行業(yè)的精密機械，顯微操作，顯微鏡，自動(dòng)化，在狹窄空間中的應用，在非磁性環(huán)境中的應用。

 

3.L-812高負載線(xiàn)性平臺

步進(jìn)或伺服電機•驅動(dòng)螺桿•性?xún)r(jià)比高

強大的線(xiàn)性平臺，用于要求苛刻的工業(yè)應用

精密滾珠絲杠，高性能步進(jìn)或同步伺服電機，重型循環(huán)滾珠軸承以及精密旋轉編碼器可在高負載下連續可靠地運行?？蛇x的抱閘允許用作Z軸。滾珠絲杠可以在不拆卸的情況下從外部進(jìn)行補充潤滑，以確保高可靠性和長(cháng)壽命。

開(kāi)拓設計

L-812系列的循環(huán)球軸承導軌設計用于高負載能力和動(dòng)態(tài)性能。電機的高分辨率可改善跟蹤性能，減小跟蹤誤差并縮短建立時(shí)間。

選項

步進(jìn)或同步伺服電機

抱閘

旋轉編碼器，增量式或絕對式

折疊式傳動(dòng)系統可減少總長(cháng)度

同步伺服電機

這些電動(dòng)機在較大的轉速范圍內具有較高的定位精度和較高的過(guò)載能力。高扭矩和低慣量確保了驅動(dòng)器的高動(dòng)態(tài)。這些電機的使用壽命長(cháng)，性能高且堅固耐用，可在工業(yè)自動(dòng)化應用中獲得出色的效果。

步進(jìn)電機

強大且低振動(dòng)的2相步進(jìn)電機即使在沒(méi)有位置控制的情況下也可以實(shí)現精確定位。

應用領(lǐng)域

電子產(chǎn)品生產(chǎn)：微裝配。傳感器/攝像頭的位置。

激光材料加工：激光微加工。

工業(yè)噴墨印刷。矩陣板和印刷電路板的生產(chǎn)。

測試與檢查。

醫療設備制造：氣密焊接?；驅?shí)驗室的機器人系統。

 

空氣軸承和位移臺

空氣軸承臺用于需要無(wú)振動(dòng)運動(dòng)，速度需要高度恒定且要求最佳角度重復性的場(chǎng)合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和反沖效應。PIglide線(xiàn)性，旋轉和球面軸承是精密組件，可以集成和電動(dòng)化用于OEM，工業(yè)和研究市場(chǎng)。

 

1.A-142 PIglide音圈線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承

   高性能•兼容無(wú)塵室•垂直安裝選件

產(chǎn)品總覽

高性能緊湊型音圈線(xiàn)性平臺，帶有空氣軸承導軌。免維護，無(wú)限壽命，非常適合具有高占空比和嚴格體積限制的高動(dòng)態(tài)應用。

集成的平衡選項可實(shí)現垂直方向的操作。

配件和選件

PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件

垂直安裝的氣動(dòng)平衡

應用領(lǐng)域

線(xiàn)性位移臺非常適合高精度應用，例如計量學(xué)，光子學(xué)對準系統，光學(xué)器件定位和掃描。非接觸式設計是潔凈室應用的理想選擇。電纜未移動(dòng)。

 

2.A-110 PIglide LC線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承

廉價(jià)的高性能納米定位臺

產(chǎn)品總覽

PIglide定位系統具有磁性直線(xiàn)電機，磁性預加載的空氣軸承和光學(xué)線(xiàn)性編碼器：非接觸和無(wú)摩擦運動(dòng)，可提供最高的準確性和可靠性

應用領(lǐng)域

PIglide定位系統非常適合許多高精度應用，例如半導體或平板顯示器制造中的計量，光子學(xué)和精密掃描。

由于無(wú)摩擦運動(dòng)，不會(huì )形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。

配件和選件

編碼器

PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運動(dòng)控制器

XY設置和個(gè)別配置

用花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統