A-311 帶空氣軸承的PIglideIS平面掃描儀 漢達森優(yōu)質(zhì)供應

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高性能，緊湊型XY納米定位系統

掃描應用的完美選擇或精密定位

行程達200 毫米 × 200 毫米

低外形

無(wú)塵室兼容

負載容量達147 牛

分辨率達1納米

產(chǎn)品概述

帶空氣軸承的高精度PIglide IS XY 平面掃描儀采用扁平設計，可用于替代堆疊XY位移平臺。高效、緊湊的設計安裝空間有限，能夠節省機械空間。

PIMag®磁力直接驅動(dòng)

三相磁性直接驅動(dòng)器在動(dòng)力傳動(dòng)系統中未使用機械零件，其可直接將驅動(dòng)力傳輸至運動(dòng)平臺，且無(wú)摩擦。驅動(dòng)器可實(shí)現高速度和高加速度。 無(wú)鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務(wù)，因為其不會(huì )與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩的運行，同時(shí)，在高速狀態(tài)下也不會(huì )產(chǎn)生振動(dòng)。避免了控制的非線(xiàn)性行為并且每個(gè)位置都很容易控制。驅動(dòng)力可任意設定。

利用來(lái)自領(lǐng)先制造商的數字控制器，操作可提供高級控制算法，以改善動(dòng)態(tài)性和誤差補償。

附件和可選配件

編碼器

PIglide過(guò)濾器和空氣預處理器

多軸運動(dòng)控制器和直接驅動(dòng)器

機器底座

花崗巖底座板和隔振系統

應用領(lǐng)域

PIglide 定位系統特別適合高精度應用，例如檢測系統、激光打標、顯微鏡或掃描。

訂購信息

A-311.AA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，100毫米 × 100微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號周期，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機，48伏

A-311.AB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，100毫米 × 100微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機，48伏

A-311.BA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，150毫米 × 150微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號周期，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機，48伏

A-311.BB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，150毫米 × 150微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機，48伏

A-311.CA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，200毫米 × 200微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號周期，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機，48伏

A-311.CB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，200毫米 × 200微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機，48伏

A-311.DA1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，50毫米 × 50微米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線(xiàn)性編碼器，20微米傳感器信號周期，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機，48伏

A-311.DB1

PIglideISPlanarscanner，空氣軸承，50毫米 × 50微米行程，帶BiSSC信號傳輸的絕對線(xiàn)性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線(xiàn)性電機，48伏