帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉平臺.

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PIglide RL系列的直接驅動(dòng)式薄型旋轉平臺采用薄型設計，可實(shí)現最高的精度。

可以組合各種選項來(lái)創(chuàng )建理想的解決方案，以實(shí)現點(diǎn)對點(diǎn)索引或恒速掃描。

RL位移臺提供卓越的行程精度，平坦度和擺動(dòng)性能。

A-63x

?200毫米或300毫米運動(dòng)平臺直徑

?薄型，60毫米

?偏心和平整度<100 nm

?靜止時(shí)可以通過(guò)磁性預載自鎖

三相扭矩電動(dòng)機

?無(wú)刷

?無(wú)插槽

?低齒槽轉矩

絕對編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，可立即確定位置。 這意味著(zhù)在接通過(guò)程中不需要引用，從而提高了操作期間的效率和安全性。

配件和選件

?增量或絕對編碼器

?真空穿通

?在靜止狀態(tài)下通過(guò)電磁預載自鎖

?PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件

?單軸或多軸運動(dòng)控制器和伺服驅動(dòng)器

?多軸/定制設計

?由花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統

應用領(lǐng)域

光學(xué)對準，晶片檢查，晶片對準，測量技術(shù)，檢查系統，校準，掃描。

由于無(wú)摩擦運動(dòng)，不會(huì )形成任何顆粒，這使PIglide工作臺非常適合無(wú)塵室應用。

訂購信息：

A-635.A100

PIglide RL旋轉平臺，空氣軸承，200 mm運動(dòng)平臺直徑，低高度，帶正弦/余弦信號傳輸的角度測量系統，31488線(xiàn)/轉，無(wú)槽，無(wú)刷三相扭矩電動(dòng)機

A-635.B100

PIglide RL旋轉平臺，空氣軸承，200 mm運動(dòng)平臺直徑，低高度，帶BiSS-C信號傳輸的絕對角度測量系統，傳感器分辨率為0.0015μrad，無(wú)槽，無(wú)刷三相扭矩電動(dòng)機

A-637.A100

PIglide RL旋轉平臺，空氣軸承，運動(dòng)平臺直徑300 mm，低高度，帶正弦/余弦信號傳輸的角度測量系統，47200線(xiàn)/轉，無(wú)槽，無(wú)刷三相扭矩電動(dòng)機

A-637.B100

PIglide RL旋轉平臺，空氣軸承，運動(dòng)平臺直徑300 mm，低高度，帶BiSS-C信號傳輸的絕對角度測量系統，傳感器分辨率為0.0015μrad，無(wú)槽，無(wú)刷三相扭矩電動(dòng)機