德國PI (Physik Instrumente)N-765 精密Z向位移臺

N-765 精密Z向位移臺

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具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅動(dòng)器

采用PIOne增量編碼器實(shí)現直接測量，分辨率為0.5納米

行程為6.5毫米

可以直接安裝在N-565線(xiàn)性定位器上

最小位移達1納米

負載能力達25牛

NEXACT®參考級線(xiàn)性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅動(dòng)器的線(xiàn)性定位器可實(shí)現較長(cháng)行程范圍內的納米級高精度定位。其配置直接測量線(xiàn)性編碼器和交叉滾柱軸承，可實(shí)現最高精度。緊湊、扁平的設計使定位器能輕松實(shí)現機械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動(dòng)器與壓電電機的技術(shù)優(yōu)勢結合在一起。PiezoWalk®步進(jìn)驅動(dòng)器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據其驅動(dòng)原理，其還能實(shí)現理論上無(wú)限的行程。不同于其他壓電機動(dòng)化驅動(dòng)器原理，PiezoWalk®步進(jìn)驅動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦作用的影響。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器的靜摩擦接觸，這幾個(gè)促動(dòng)器沿一個(gè)動(dòng)輪步進(jìn)。前饋時(shí)，促動(dòng)器被從動(dòng)輪處物理提升，幾乎不會(huì )造成任何磨損。在促動(dòng)器上相對于動(dòng)輪施加預載可確保步進(jìn)驅動(dòng)器自鎖。因此，步進(jìn)驅動(dòng)器靜止狀態(tài)下將保持位置，關(guān)機時(shí)可實(shí)現機械穩定（無(wú)伺服抖動(dòng)）。靜止狀態(tài)自鎖，無(wú)能量消耗，無(wú)熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線(xiàn)性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數據進(jìn)行相應處理后，可實(shí)現遠低于1納米的位置分辨率。光學(xué)非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運動(dòng)平臺上進(jìn)行實(shí)際位置測量，因此非線(xiàn)性效應、機械作用或彈性形變不會(huì )對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線(xiàn)性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號時(shí)支持方向感應。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線(xiàn)接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實(shí)現了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個(gè)特征是高導向精度和負載能力。滾動(dòng)主體架的受迫導向防止滾柱軸承發(fā)生蠕變。

有效專(zhuān)利

在壓電陶瓷步進(jìn)驅動(dòng)器（NEXACT®和NEXLINE®）技術(shù)領(lǐng)域，PI擁有以下專(zhuān)利或專(zhuān)利申請：

應用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩定性光學(xué)或機械部件、半導體行業(yè)中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動(dòng)化、有限空間內的應用、真空或無(wú)磁性環(huán)境中的應用。

訂購信息：

N-765.060 精密Z向位移臺，行程為6.5毫米，PIOne線(xiàn)性編碼器，分辨率為0.5納米，推/拉力為25牛，尺寸為65 × 110 × 56毫米（寬 × 長(cháng) × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅動(dòng)器

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