PI德國 NEXACT線(xiàn)性促動(dòng)器，機械手，壓電步進(jìn)N-381

NEXACT線(xiàn)性促動(dòng)器，機械手，壓電步進(jìn)

譚晶 QQ：2853369887   手機：18518172492 電話(huà)：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn

高分辨率，可選配位置傳感器

N-381

§ 行程30毫米

§ 力量生成達10牛

§ 帶NEXACT壓電陶瓷步進(jìn)驅動(dòng)

§ 可選配：集成線(xiàn)性編碼器，分辨率為20 納米

應用領(lǐng)域

§ 工業(yè)級精度定位

§ 半導體技術(shù)

§ 半導體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術(shù)

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場(chǎng)和真空中運動(dòng)

采用PiezoWalk步進(jìn)驅動(dòng)實(shí)現納米精度和大進(jìn)給力

數個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在PiezoWalk步進(jìn)驅動(dòng)中執行步進(jìn)運動(dòng)，將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運動(dòng)。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線(xiàn)性效應、機械作用或彈性形變不會(huì )對測量造成影響。

訂購信息

N-381.30

NEXACTUATOR線(xiàn)性促動(dòng)器，30毫米，開(kāi)環(huán)

N-381.3A

NEXACTUATOR線(xiàn)性促動(dòng)器，30毫米，編碼器分辨率為20納米

我們的優(yōu)勢：

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