P-733.3 XYZ壓電陶瓷納米定位器，具有孔徑的高精度XYZ掃描儀

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具有孔徑的高精度XYZ掃描儀

X和Y向上的行程達100微米 × 100微米，Z向上的行程達10微米

帶直接驅動(dòng)器的高速版本

并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更高精度和動(dòng)態(tài)

零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

電容式傳感器使分辨率達0.1納米

超高真空兼容和非磁性版本

導向誤差主動(dòng)補償的并行計量

50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應用

應用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩定

·         高運動(dòng)平面度和直線(xiàn)度的納米定位

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統可實(shí)現極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯(lián)位置測量實(shí)現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動(dòng)串擾均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補償（取決于帶寬）（主動(dòng)導向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

直驅版本

P-733.3DD

高動(dòng)態(tài)，高精度XYZ納米定位系統，30 µm×30 µm×10 µm，直接驅動(dòng)，電容傳感器，并聯(lián)

計量，D-sub連接器

帶有D-sub連接器的版本（m）

P-733.3CD

精密XYZ納米定位系統，100 µm×100 µm×10 µm，電容傳感器，并行計量，D-sub連接器

帶有LEMO連接器的版本

P-733.3CL

精密XYZ納米定位系統，100 µm×100 µm×10 µm，電容傳感器，并行計量，LEMO連接器

真空兼容版本達10-6 hPa

P-733.3VD

精密XYZ納米定位系統，100 µm×100 µm×10 µm，電容傳感器，并行計量，D-sub連接器，

真空兼容10-6 hPa