PI (Physik Instrumente)S-303 壓電移相器

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S-303 壓電移相器

帶直接計量選項的高速壓電移相器

諧振頻率為25千赫茲，可實(shí)現亞毫秒級的動(dòng)態(tài)

行程為3微米

帶孔徑的開(kāi)環(huán)版本

電容式傳感器選項可實(shí)現最高的線(xiàn)性度和穩定性

緊湊尺寸：直徑為30毫米×10毫米

殷鋼選項可實(shí)現最高的熱穩定性

應用領(lǐng)域

?（菲索）干涉儀

?光學(xué)納米操作和檢查

?掃描顯微鏡

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測量帶來(lái)最大精度

運動(dòng)直接在運動(dòng)平臺上測量，完全不受驅動(dòng)或導向元件的影響。這樣可以實(shí)現最佳的重復精度、優(yōu)異的穩定性和剛性、快速響應控制。

訂購信息

S-303.0升

壓電移相器，3 µm，無(wú)傳感器

S-303光盤(pán)

壓電移相器，3 µm，電容傳感器

S-303.0LI

壓電移相器，3 µm，無(wú)傳感器，殷鋼

S-303.CDI

壓電移相器，3 µm，電容傳感器，Invar

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