德國PI 壓電陶瓷Z向位移臺/Z向和偏擺平臺P-541.Z ? P-541.T

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P-541.Z • P-541.T 壓電陶瓷Z向位移臺/Z向和偏擺平臺

低外形，大孔徑

§ 低外形用于實(shí)現簡(jiǎn)易集成：16.5毫米

§ 通孔尺寸80 毫米×80 毫米

§ 行程達150微米

§ 偏擺角達1.2毫弧度

§ 并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更快的響應時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 傳感器技術(shù)：便宜的應變片傳感器或可 實(shí)現更高性能的電容式傳感器

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽 命

§ 可與顯微鏡平臺組合實(shí)現更長(cháng)行程

應用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         生物技術(shù)

·         掩模/晶圓定位

·         樣本定位

·         干涉測量

·         計量

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現高動(dòng)態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統中，所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運動(dòng)平臺。所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的設計，可實(shí)現快速、動(dòng)態(tài)和精密的運動(dòng)。

訂購信息

P-541.ZCD

帶大通光孔徑的垂直納米定位平臺，100微米，電容傳感器，直接位置測量

P-541.TCD

帶大孔徑的納米定位器Z向和偏擺平臺，100微米 / 0.8毫弧度，平行計量，電容傳感器

P-541.ZSL

帶大通光孔徑的垂直納米定位平臺，100微米，應變片傳感器

P-541.TSL

帶大通光孔徑的納米定位器Z向和偏擺平臺，100微米/0.8毫弧度，應變片傳感器

P-541.Z0L

帶大通光孔徑的垂直納米定位平臺，150微米，不帶傳感器

P-541.T0L

帶大通光孔徑的納米定位器Z向和偏擺平臺，150微米/1.2毫弧度，不帶傳感器


 

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