PI 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺P-518 ? P-528 ? P-558

P-518 • P-528 • P-558 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺

高動(dòng)態(tài)，帶大通光孔徑

譚晶 QQ：2853369887   手機：18518172492 電話(huà)：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn

§ 三軸Z向和偏擺平臺 / 單軸Z向位移臺

§ 垂直偏擺角達200微米/2毫弧度，閉環(huán) （開(kāi)環(huán)達240 微米/2.4 毫弧度）

§ 并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更快的響應時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽 命

§ 通光孔徑為66 毫米 × 66 毫米

§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線(xiàn)性度

應用領(lǐng)域

·         計量

·         干涉測量

·         光子學(xué)/集成光學(xué)

·         平版印刷術(shù)

·         納米定位

·         掃描顯微鏡

·         樣本對準

·         微加工

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯(lián)位置測量實(shí)現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動(dòng)串擾均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補償（取決于帶寬）（主動(dòng)導向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

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精密納米定位Z向位移臺，50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

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精密納米定位Z向位移臺，50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

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精密納米定位Z向位移臺，100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

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精密納米定位Z向位移臺，100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

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精密納米定位Z向位移臺，200微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

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精密納米定位Z向位移臺，200微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

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精密納米定位器Z向位移臺和偏擺臺，50微米，0.6毫弧度，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-518.TCD

精密納米定位器Z向位移臺和偏擺臺，100微米，1.4毫弧度，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-528.TCD

精密納米定位器Z向位移臺和偏擺臺，200微米，2.4毫弧度，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

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