德國PI 納米定位平臺P-561 ? P-562 ? P-563 PIMars

德國PI 納米定位平臺P-561 • P-562 • P-563 PIMars


用于多達3軸的高精度納米定位系統

§ 并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更快的響應時(shí)間和更高的 多軸精度

譚晶 QQ：2853369887   手機：18518172492 電話(huà)：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn

§ 行程達300 × 300 × 300微米

§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線(xiàn)性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ 優(yōu)異的掃描平面度

§ 高動(dòng)態(tài)XYZ版本

§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽 命

§ 超高真空版本達10-9百帕

描述

應用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測量

·         測量技術(shù)

·         生物技術(shù)

·         掃描和篩選

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統可實(shí)現極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯(lián)位置測量實(shí)現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動(dòng)串擾均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補償（取決于帶寬）（主動(dòng)導向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

P-561.3CD

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-561.3CL

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

P-561.3DD PIMars高動(dòng)態(tài)XYZ向納米定位系統，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，直接驅動(dòng)

P-562.3CD

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-562.3CL

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

P-563.3CD

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-563.3CL

我們的優(yōu)勢：

1）渠道廣泛，國內有代理，或者有客戶(hù)保護廠(chǎng)家不賣(mài)的產(chǎn)品，只要您能提供型號，我們同樣可以從德國的分銷(xiāo)商來(lái)采購。

2）價(jià)格合理，繞過(guò)層層代理，最大限度的讓利給客戶(hù)。

3）直接從德國廠(chǎng)家采購，保證所有產(chǎn)品均為原裝正品。

4）德國倉庫每周三統一拼箱發(fā)貨，極大節約了物流成本。

5）德國工程師為您提供專(zhuān)業(yè)的售前及售后技術(shù)咨詢(xún)服務(wù)。

北京漢達森德國本土采購，拼箱發(fā)貨報關(guān)，德國技術(shù)支持，終身售后服務(wù)，貨期保證，價(jià)格公道，歡迎垂詢(xún)!如需更多信息歡迎垂詢(xún)漢達森品牌專(zhuān)員譚晶18518172492。