pi-P-733.3 XYZ 壓電納米定位器：
帶孔徑的高精度 XYZ 掃描儀
X、Y 方向的行程范圍為 100 µm × 100 µm，Z 方向的行程范圍為 10 µm
由于采用電容式傳感器，分辨率可達 0.1 nm
帶直接驅動(dòng)的高速版本
可應要求提供超高真空兼容和非磁性版本
并行運動(dòng)學(xué)可實(shí)現更高的精度和動(dòng)態(tài)性
用于主動(dòng)補償導向誤差的并行計量
零間隙、高精度撓性導軌系統
通光孔徑 50 mm × 50 mm，適用于透射光應用
pi-P-733.3 XYZ 壓電納米定位器
應用領(lǐng)域
掃描顯微鏡
共聚焦顯微鏡
掩模/晶圓定位
表面測量技術(shù)
納米壓印
顯微操作
圖像處理/穩定
具有高平面度和運動(dòng)直線(xiàn)度的納米定位
具有電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，無(wú)需接觸。它們保證出色的運動(dòng)線(xiàn)性度、長(cháng)期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。
自動(dòng)配置和快速組件更換
機械和控制器可以根據需要組合并快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械裝置 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )使用此數據。
得益于 PICMA® 壓電執行器，使用壽命長(cháng)
獲得專(zhuān)利的PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受因漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA® 執行器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣執行器長(cháng)十倍。已證明 1000 億次循環(huán)無(wú)一次故障。
零間隙撓性導軌實(shí)現高導向精度
撓性導軌免維護、免摩擦和免磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們 100% 真空兼容，可在很寬的溫度范圍內工作。
由于平行位置測量，在納米范圍內具有高跟蹤精度
所有的自由度都是根據一個(gè)單一的固定參考來(lái)測量的。軸之間不需要的串擾可以實(shí)時(shí)（取決于帶寬）主動(dòng)補償（主動(dòng)引導）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也能在納米范圍內實(shí)現高跟蹤精度。
pi-P-733.3 XYZ 壓電納米定位器
申紫東
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