德國PI Physik Instrumente F-712.PM1/HA2 光學(xué)功率計

大量不同的型號可提供真空版本。多軸組合可通過(guò)轉接支架實(shí)現，利用匹配的Z向位移臺和轉臺還可實(shí)現更加緊湊的結構。

運動(dòng)控制器可為臺式設備、機架版本或緊湊型OEM設備。它們的共同因子是通過(guò)通用指令集（GCS）進(jìn)行指令控制，從而簡(jiǎn)化控制和編程，且不受驅動(dòng)器類(lèi)型的限制。

多軸工業(yè)應用中帶ACS運動(dòng)控制器的多軸系統可供貨。對于精密和以運動(dòng)為中心的工業(yè)應用，其可實(shí)現利用現場(chǎng)總線(xiàn)接口進(jìn)行簡(jiǎn)易集成。

F-712.PM1 光學(xué)功率計

非常適用于硅光子學(xué)中的應用

§ 高動(dòng)態(tài)范圍

§ 波長(cháng)范圍為400至1550納米

§ 靈活的電流輸入范圍達1毫安

§ 對數輸出

產(chǎn)品概述

這款光學(xué)功率計可將光信號轉換成分辨率高、帶寬極大的電壓信號。光輸入設計使得光信號的測量不受連接器中光纖位置的限制。

設備還具有電流輸入。例如，光電二極管可與該輸入連接，使二極管電流轉換成對數電壓信號。輸入間的切換通過(guò)按鍵完成，且當電流輸入被啟用時(shí)，LED指示燈將點(diǎn)亮。光學(xué)功率計的大波長(cháng)范圍使其能在可見(jiàn)光和紅外光范圍內工作，無(wú)需切換。精確的對數輸出信號是光學(xué)對準系統的理想選擇。因此，光學(xué)功率計可適用于市面上最快速的全自動(dòng)對準系統。

訂購信息

F-712.PM1

光學(xué)功率計，波長(cháng)范圍為400- 1550納米，輸入電流達1毫安，信號帶寬為20千赫茲，對數輸出為±5伏，臺式設備，包含電源適配器

F-712.HA2高精度雙面光纖對準系統

用于對準光纖和光學(xué)元件的6自由度系統

用于光纖對準的集成掃描程序

豐富的軟件包

位置傳感器具有高精度和運行可靠性

非常適合硅光子學(xué)應用

直接檢測光信號

幾根光纖自動(dòng)對準<0.5s

快速和高精度驅動(dòng)器

光纖對準系統的基礎是非常堅硬的設置，配有H-811六足機和P-616NanoCube®納米定位儀。 用于自由度運動(dòng)的平行運動(dòng)學(xué)設計確保了高系統剛度。 電動(dòng)驅動(dòng)器可實(shí)現更長(cháng)的行程范圍，同時(shí)，NanoCube®納米定位器可確?？焖賿呙柽\動(dòng)和漂移效果的動(dòng)態(tài)補償。 柔性導軌和全陶瓷絕緣PICMA®執行器可確保較長(cháng)的使用壽命。 因為所有驅動(dòng)器都配備有位置傳感器，所以例如可以可靠地防止與昂貴的硅晶片的碰撞。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯(lián)位置測量實(shí)現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動(dòng)串擾均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補償（取決于帶寬）（主動(dòng)導向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

 

P-517.2CL

精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

 

P-517.2CD

精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

 

P-527.2CL

精密XY向納米定位系統，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

 

P-527.2CD

精密XY向納米定位系統，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

 

P-517.3CL

精密XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-517.3CD

精密XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-527.3CL

精密XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-527.3CD

精密XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-517.RCD

精密XY向/旋轉納米定位系統，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

 

P-527.RCD

精密XY向/旋轉納米定位系統，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

P-561 • P-562 • P-563 PIMars納米定位平臺

用于多達3軸的高精度納米定位系統

 

 

§ 并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更快的響應時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 行程達300 × 300 × 300微米

§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線(xiàn)性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ 優(yōu)異的掃描平面度

§ 高動(dòng)態(tài)XYZ版本

§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽 命

§ 超高真空版本達10-9百帕

 

描述

應用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測量

·         測量技術(shù)

·         生物技術(shù)

·         掃描和篩選

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統可實(shí)現極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯(lián)位置測量實(shí)現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動(dòng)串擾均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補償（取決于帶寬）（主動(dòng)導向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

P-561.3CD

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-561.3CL

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-561.3DD

PIMars高動(dòng)態(tài)XYZ向納米定位系統，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，直接驅動(dòng)

 

P-562.3CD

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-562.3CL

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-563.3CD

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

P-563.3CL

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平