德國PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向納米定位系統

　　德國PI Physik Instrumente P-517.2CL 精密XY向納米定位系統
 

　　快速和高精度驅動(dòng)器

 

　　光纖對準系統的基礎是非常堅硬的設置，配有H-811六足機和P-616NanoCube®納米定位儀。 用于自由度運動(dòng)的平行運動(dòng)學(xué)設計確保了高系統剛度。 電動(dòng)驅動(dòng)器可實(shí)現更長(cháng)的行程范圍，同時(shí)，NanoCube®納米定位器可確?？焖賿呙柽\動(dòng)和漂移效果的動(dòng)態(tài)補償。 柔性導軌和全陶瓷絕緣PICMA®執行器可確保較長(cháng)的使用壽命。 因為所有驅動(dòng)器都配備有位置傳感器，所以例如可以可靠地防止與昂貴的硅晶片的碰撞。

 

　　

 

　　訂購信息

 

　　P-517.2CL

 

　　精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

 

　　P-517.2CD

 

　　精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

 

　　P-527.2CL

 

　　精密XY向納米定位系統，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

 

　　P-527.2CD

 

　　精密XY向納米定位系統，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

 

　　P-517.3CL

 

　　精密XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

　　P-517.3CD

 

　　精密XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

　　P-527.3CL

 

　　精密XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

　　P-527.3CD

 

　　精密XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

　　P-517.RCD

 

　　精密XY向/旋轉納米定位系統，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

 

　　P-527.RCD

 

　　精密XY向/旋轉納米定位系統，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

 

　　P-561 • P-562 • P-563 PIMars納米定位平臺

 

　　用于多達3軸的高精度納米定位系統

 

　　§ 并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更快的響應時(shí)間和更高的 多軸精度

 

　　§ 行程達300 × 300 × 300微米

 

　　§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線(xiàn)性度

 

　　§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

 

　　§ 優(yōu)異的掃描平面度

 

　　§ 高動(dòng)態(tài)XYZ版本

 

　　§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

 

　　§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽 命

 

　　§ 超高真空版本達10-9百帕

 

　　描述

 

　　應用領(lǐng)域

 

　　· 掃描顯微鏡

 

　　· 掩模/晶圓定位

 

　　· 干涉測量

 

　　· 測量技術(shù)

 

　　· 生物技術(shù)

 

　　· 掃描和篩選

 

　　帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

 

　　電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

 

　　自動(dòng)配置和快速部件更換

 

　　機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。

 

　　適用于復雜真空應用

 

　　壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統可實(shí)現極低的排氣率。

 

　　PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

 

　　專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

 

　　零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

 

　　柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

 

　　并聯(lián)位置測量實(shí)現納米級的高跟蹤精度

 

　　各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動(dòng)串擾均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補償(取決于帶寬)(主動(dòng)導向)。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

 

　　訂購信息

 

　　P-561.3CD

 

　　具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

　　P-561.3CL

 

　　具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

　　P-561.3DD

 

　　PIMars高動(dòng)態(tài)XYZ向納米定位系統，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，直接驅動(dòng)

 

　　P-562.3CD

 

　　具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

　　P-562.3CL

 

　　具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

 

　　P-563.3CD

 

　　具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

 

　　P-563.3CL

 

　　具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量