Busch羅茨真空泵TYR WT 0280 CV
吳亞男小組
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體積流量698 – 1355 m³/h；
最大壓差 (hPa (mbar))+1000 hPa (mbar)；
電機額定功率37.0 kW；
風(fēng)機轉速4100 min?¹；
進(jìn)氣口尺寸Ø 159mm；
重量（約）326kg；
Busch型號
Busch真空泵7AA100L 04K B14
Busch真空泵RA0302D503
Busch過(guò)濾器0532-000-508
Busch螺桿真空泵COBRANX0450/0650A
Busch真空泵RA0302D
Busch真空泵R5RA0025/0040F
TORRI BD 0100–0600 A
極限壓力：min. 0.01 hPa (mbar) max. 0.001 hPa (mbar)
額定抽速：min. 100 m³/h max. 600 m³/h
用于 LOAD LOCK 的緊湊、高效解決方案。
靈活
對 load lock 腔體實(shí)現最短抽真空時(shí)間
高效
能耗低，維護工作量少，正常運行時(shí)間長(cháng)
結構緊湊
尺寸小巧、重量輕盈
市場(chǎng)和應用
半導體生產(chǎn)
輕型
TORRI BD 0100A參數
額定抽速|(zhì)100m2/h
極限壓力|0.01 hPa（mbar）
前級泵電機額定功率|2.2kW
前級泵電機額定轉速|(zhì)5500min-1
極限壓力時(shí)的功耗|0.4kW
噪聲級（ISO2151）|<60dB（A）
耗水量|1.0l/min
重量（約）|60kg
尺寸（LxWxH）|450×230×275mm
進(jìn)氣口|DN50KF
排氣口|DN25KF
Busch羅茨真空泵TYR WT 0280 CV
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