Physik Instrumente線(xiàn)性平臺 H-811.I2系列

應用領(lǐng)域

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六腳架支持工業(yè)機器人科學(xué)儀器

半導體技術(shù)

顯微鏡檢查

硅光子學(xué)

醫療技術(shù)

材料研究

機械工業(yè)

自動(dòng)化

梁線(xiàn)儀器

添加劑制造

主動(dòng)對準

線(xiàn)性平臺

PI提供了廣泛的電動(dòng)線(xiàn)性平臺產(chǎn)品組合。種類(lèi)繁多的應用還意味著(zhù)線(xiàn)性軸的技術(shù)可能性也非常廣泛。行程范圍從幾毫米到幾米，精度等級從納米到微米：PI使驅動(dòng)器，導向器或傳感器技術(shù)適應應用條件。

有許多不同型號的真空版本。多軸組合可借助轉接器支架實(shí)現，或者通過(guò)匹配的Z平臺和旋轉平臺更加緊湊。

運動(dòng)控制器可作為臺式設備，機架版本或緊湊型OEM設備使用。所有這些因素的共同因素是通過(guò)通用命令集（GCS）進(jìn)行命令，該命令簡(jiǎn)化了控制和編程，并且與驅動(dòng)器類(lèi)型無(wú)關(guān)。

可提供具有ACS運動(dòng)控制器的多軸工業(yè)應用中的多軸系統。這樣可確保通過(guò)Fieldbus接口輕松集成，以實(shí)現精密和以運動(dòng)為中心的工業(yè)應用。

 

1.U-523PILine®線(xiàn)性平臺

帶有超聲波壓電馬達的緊湊型線(xiàn)性平臺

精密級線(xiàn)性定位平臺

PILine®位移臺特別適合需要快速精確定位的應用。關(guān)閉時(shí)，自鎖驅動(dòng)器會(huì )以機械方式穩定工作臺的位置。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著(zhù)減少。這些特性使電池供電或對熱敏感的低占空比應用受益。軸的位置由編碼器測量，光學(xué)參考開(kāi)關(guān)可實(shí)現可靠的可重復運動(dòng)。壓電驅動(dòng)原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。

使用增量線(xiàn)性編碼器進(jìn)行高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線(xiàn)性，機械間隙或彈性變形對測量沒(méi)有影響。

PILine®超聲波壓電馬達

PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動(dòng)器，該壓電致動(dòng)器通過(guò)一個(gè)耦合元件預加載在可移動(dòng)的導向流道上。壓電陶瓷執行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動(dòng)器的變形導致聯(lián)接元件相對于轉輪周期性的對角運動(dòng)。每個(gè)周期產(chǎn)生的進(jìn)料為幾納米。高頻導致高速。將壓電陶瓷執行器預緊抵在轉輪上，可確保驅動(dòng)器在靜止和關(guān)閉時(shí)自動(dòng)鎖定。

應用領(lǐng)域

顯微操作，自動(dòng)化，生物技術(shù)，樣品處理，樣品定位，空間有限的應用，10 -6 hPa的真空應用（可選）。

 

2.精度最高的N-565線(xiàn)性平臺

具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅動(dòng)器

NEXACT®參考級線(xiàn)性平臺

帶有NEXACT®PiezoWalk®驅動(dòng)器的線(xiàn)性平臺可在長(cháng)行程范圍內在納米范圍內進(jìn)行高精度定位。它們配備有直接測量的線(xiàn)性編碼器和交叉滾子軸承，可實(shí)現最高的精度。

使用PIOne線(xiàn)性編碼器進(jìn)行直接位置測量

PI開(kāi)發(fā)了高分辨率的PIOne編碼器，并通過(guò)對測量值進(jìn)行相應的處理，使位置分辨率大大小于1納米。另外，由于信號周期短和信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線(xiàn)性誤差小于1％。PIOne編碼器在評估參考信號時(shí)支持方向感測。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率和低磨損

PiezoWalk®技術(shù)結合了壓電執行器和壓電馬達的技術(shù)優(yōu)勢。PiezoWalk®行走驅動(dòng)器不僅提供亞納米級分辨率，高作用力和高剛度，而且理論上允許無(wú)限的行駛范圍。與其他壓電驅動(dòng)原理相反，PiezoWalk®行走驅動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦的影響。它們基于沿著(zhù)滑道步進(jìn)的多個(gè)壓電執行器的靜摩擦接觸。靜止時(shí)，PiezoWalk®行走驅動(dòng)器是自鎖的，不消耗能量，并且不發(fā)熱。

應用領(lǐng)域

樣品處理，樣品定位，具有高精度和穩定性的光學(xué)或機械組件，半導體行業(yè)的精密機械，顯微操作，顯微鏡，自動(dòng)化，在狹窄空間中的應用，在非磁性環(huán)境中的應用。

 

3.L-812高負載線(xiàn)性平臺

步進(jìn)或伺服電機•驅動(dòng)螺桿•性?xún)r(jià)比高

強大的線(xiàn)性平臺，用于要求苛刻的工業(yè)應用

精密滾珠絲杠，高性能步進(jìn)或同步伺服電機，重型循環(huán)滾珠軸承以及精密旋轉編碼器可在高負載下連續可靠地運行?？蛇x的抱閘允許用作Z軸。滾珠絲杠可以在不拆卸的情況下從外部進(jìn)行補充潤滑，以確保高可靠性和長(cháng)壽命。

開(kāi)拓設計

L-812系列的循環(huán)球軸承導軌設計用于高負載能力和動(dòng)態(tài)性能。電機的高分辨率可改善跟蹤性能，減小跟蹤誤差并縮短建立時(shí)間。

選項

步進(jìn)或同步伺服電機

抱閘

旋轉編碼器，增量式或絕對式

折疊式傳動(dòng)系統可減少總長(cháng)度

同步伺服電機

這些電動(dòng)機在較大的轉速范圍內具有較高的定位精度和較高的過(guò)載能力。高扭矩和低慣量確保了驅動(dòng)器的高動(dòng)態(tài)。這些電機的使用壽命長(cháng)，性能高且堅固耐用，可在工業(yè)自動(dòng)化應用中獲得出色的效果。

步進(jìn)電機

強大且低振動(dòng)的2相步進(jìn)電機即使在沒(méi)有位置控制的情況下也可以實(shí)現精確定位。

應用領(lǐng)域

電子產(chǎn)品生產(chǎn)：微裝配。傳感器/攝像頭的位置。

激光材料加工：激光微加工。

工業(yè)噴墨印刷。矩陣板和印刷電路板的生產(chǎn)。

測試與檢查。

醫療設備制造：氣密焊接?；驅?shí)驗室的機器人系統。

 

空氣軸承和位移臺

空氣軸承臺用于需要無(wú)振動(dòng)運動(dòng)，速度需要高度恒定且要求最佳角度重復性的場(chǎng)合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和反沖效應。PIglide線(xiàn)性，旋轉和球面軸承是精密組件，可以集成和電動(dòng)化用于OEM，工業(yè)和研究市場(chǎng)。

 

1.A-142 PIglide音圈線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承

   高性能•兼容無(wú)塵室•垂直安裝選件

產(chǎn)品總覽

高性能緊湊型音圈線(xiàn)性平臺，帶有空氣軸承導軌。免維護，無(wú)限壽命，非常適合具有高占空比和嚴格體積限制的高動(dòng)態(tài)應用。

集成的平衡選項可實(shí)現垂直方向的操作。

配件和選件

PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件

垂直安裝的氣動(dòng)平衡

應用領(lǐng)域

線(xiàn)性位移臺非常適合高精度應用，例如計量學(xué)，光子學(xué)對準系統，光學(xué)器件定位和掃描。非接觸式設計是潔凈室應用的理想選擇。電纜未移動(dòng)。

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2.A-110 PIglide LC線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承

廉價(jià)的高性能納米定位臺

產(chǎn)品總覽

PIglide定位系統具有磁性直線(xiàn)電機，磁性預加載的空氣軸承和光學(xué)線(xiàn)性編碼器：非接觸和無(wú)摩擦運動(dòng)，可提供最高的準確性和可靠性

應用領(lǐng)域

PIglide定位系統非常適合許多高精度應用，例如半導體或平板顯示器制造中的計量，光子學(xué)和精密掃描。

由于無(wú)摩擦運動(dòng)，不會(huì )形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。

配件和選件

編碼器

PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運動(dòng)控制器

XY設置和個(gè)別配置

用花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統

 

3.A-141 PIglide MB微型線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承

高性能，無(wú)塵室兼容，可定制 

產(chǎn)品總覽

帶有空氣軸承的PIglide MB線(xiàn)性位移臺配有伺服線(xiàn)性電機驅動(dòng)器，該驅動(dòng)器帶有預裝的空氣軸承和集成的光學(xué)線(xiàn)性編碼器。此階段可提供微型格式的超高精度。非接觸組件的組合形成了一個(gè)無(wú)摩擦運動(dòng)平臺，該平臺可提供最高的性能，質(zhì)量和使用壽命。

應用領(lǐng)域

該載物臺非常適合許多高精度應用，例如計量，光子對準，光學(xué)定位和掃描。非接觸式設計也是潔凈室應用的理想選擇。電纜未移動(dòng)?？諝廨S承模塊提供鎖定設計，以實(shí)現最高的位置穩定性。

配件和選件

PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運動(dòng)控制器

用花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統

 

旋轉臺

對旋轉運動(dòng)的要求顯示出范圍很廣的各種尺寸，負載能力和定位精度。PI提供具有各種電動(dòng)和導向選項的平臺：空氣軸承，扭矩馬達驅動(dòng)，蝸輪蝸桿耦合電動(dòng)，小型壓電馬達平臺以及帶有正交傾斜安裝選項的專(zhuān)用測角儀平臺。它們都可以通過(guò)相應的線(xiàn)性，垂直和XY平臺安裝到多軸組合上。 

 

1.A-68x PIglide RLA旋轉平臺，帶空氣軸承，大孔徑

無(wú)摩擦，電動(dòng)

產(chǎn)品總覽

PIglide RLA系列的直接驅動(dòng)平面旋轉平臺設計為具有最高的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度，平坦度和擺動(dòng)性能。

絕對值編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著(zhù)在接通過(guò)程中不需要引用，從而提高了操作過(guò)程中的效率和安全性。

應用領(lǐng)域

斷層掃描，束線(xiàn)系統，晶圓計量，晶圓檢查，測量技術(shù)，檢查系統，校準，掃描。

由于無(wú)摩擦運動(dòng)，不會(huì )形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。

三相轉矩電機

無(wú)刷

低齒槽轉矩

配件和選件

增量或絕對編碼器

PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件

單軸或多軸運動(dòng)控制器和伺服驅動(dòng)器

多軸/自定義設置

用花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統

 

2.A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉平臺

無(wú)摩擦，電動(dòng)

產(chǎn)品總覽

PIglide RL系列的直接驅動(dòng)式薄型旋轉位移臺采用薄型設計，可實(shí)現最高的精度?？梢越M合使用各種選項，以創(chuàng )建理想的解決方案，以實(shí)現點(diǎn)對點(diǎn)索引或恒速掃描。RL位移臺提供卓越的行程精度，平坦度和擺動(dòng)性能。

絕對值編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著(zhù)在接通過(guò)程中不需要引用，從而提高了操作過(guò)程中的效率和安全性。

應用領(lǐng)域

光學(xué)對準，晶圓檢查，晶圓對準，測量技術(shù)，檢查系統，校準，掃描。

由于無(wú)摩擦運動(dòng)，不會(huì )形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。

三相轉矩電機

無(wú)刷

無(wú)槽

低齒槽轉矩

配件和選件

增量或絕對編碼器

真空饋通

在靜止狀態(tài)下通過(guò)電磁預載自鎖

根據要求清除光圈

PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件

單軸或多軸運動(dòng)控制器和伺服驅動(dòng)器

多軸/自定義設置

用花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統

常用型號