德國ATL LASER激光器ATLEX-S-KrF-300技術(shù)指導
王子豪
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公司介紹：
ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年，并于1994年通過(guò)開(kāi)發(fā)世界上第一臺緊湊型、高重復率、短脈沖準分子激光器在紫外激光技術(shù)方面取得了突破。ATL通過(guò)幾代產(chǎn)品完善了這一革命性概念，如今，ATLEX產(chǎn)品系列以其獲得專(zhuān)利的預電離和放電技術(shù)引領(lǐng)世界。ATL繼續開(kāi)發(fā)緊湊型短脈沖準分子激光器，并保持該領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)先地位。
產(chǎn)品系列示例：
ATLEX-300-I系列激光器
ATLEX-500-I系列激光器
ATLEX-1000-I系列激光器
ATLEX-500-L系列激光器
ATLEX-1000-L系列激光器
ATLEX-300-FBG系列激光器
ATLEX-500-FBG系列激光器
ATLEX-LR系列激光器
ATLEX-S系列激光器
ATLEX-S系列激光器
產(chǎn)品特點(diǎn)：
超緊湊的尺寸
高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器
完全風(fēng)冷的主動(dòng)熱管理
用于系統集成的RS-485、RS232、USB和光纖接口
可沖洗的光學(xué)支架
能量穩定模式
動(dòng)態(tài)風(fēng)扇速度控制
德國ATL LASER 型號：ATLEX-S-KrF-300
氣體介質(zhì)：KrF
波長(cháng)：248nm
高壓開(kāi)關(guān)技術(shù)：固態(tài)開(kāi)關(guān)
最大脈沖能量：300Hz
最大平均功率：15mJ
空間相干（垂直光束方向）：4W
脈沖持續時(shí)間：5–8ns
尺寸：4x6mm
光束發(fā)散：1x2mrad
能量穩定性：<3%
尺寸：630x400x300mm
重量：65kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
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