法國Phasics SID4-UV-HR技術(shù)指導

法國Phasics  SID4-UV-HR技術(shù)指導
 

 

法國Phasics  SID4-UV-HR

 

產(chǎn)品介紹：

 

基于Phasics的專(zhuān)利技術(shù)，SID4UV-HR波前傳感器在190nm至400nm的紫外光譜中提供無(wú)與倫比的高分辨率（355x280個(gè)測量點(diǎn)）和非常高的靈敏度（1nmRMS）。因此，SID4UV-HR完美適用于光學(xué)元件表征（用于光刻、半導體……）和表面檢測（透鏡和晶圓……）。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

 

靈敏度低至190nm

高靈敏度–1nmRMS

超高分辨率（355x280采樣）

 

產(chǎn)品參數：

 

波長(cháng)范圍：190-400納米

孔徑尺寸：13.8x10.88平方毫米

空間分辨率：38.88微米

相位和強度采樣：355×280

分辨率（相位）：1納米有效值

準確度（絕對）：10納米有效值

獲取率：30幀/秒

實(shí)時(shí)處理頻率*：>3fps（全分辨率）*

界面：相機鏈接

尺寸(WxHxL)：51x51.1x76毫米³

重量：~300克

 

法國Phasics  SID4-HR

 

產(chǎn)品介紹：

 

SID4-HR為最苛刻的波前測量應用帶來(lái)了超高相位采樣(400x300)和高動(dòng)態(tài)范圍(500µmPV)。其大孔徑和極高的波前靈敏度使其非常適合直接測量大發(fā)散光束而無(wú)需中繼光學(xué)器件。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

 

超高分辨率（400x300相位像素）

大分析瞳孔：11.8x8.9mm²

直接測量高達0.8的高NA光束

 

產(chǎn)品參數：

 

波長(cháng)范圍：400-1100 納米

孔徑尺寸：11.84 x 8.88 平方毫米

空間分辨率：29.6 微米

相位和強度采樣：400×300

分辨率（相位）：2 納米有效值

準確性：15 納米有效值

獲取率：10 幀/秒

實(shí)時(shí)處理頻率*：3 fps（全分辨率）

界面：千兆以太網(wǎng)

尺寸 (WxHxL)：54 x 46 x 79 毫米³

重量：~250 克

 

法國Phasics  Kaleo 套件

 

產(chǎn)品介紹：

 

KaleoKit是用于光學(xué)鑒定的模塊化系統。它結合了廣泛的兼容模塊，讓您可以創(chuàng )建一個(gè)經(jīng)濟高效、緊湊且易于使用的系統，該系統可以適應各種測量配置，并在所有開(kāi)發(fā)階段確保您的樣品質(zhì)量。一次采集即可訪(fǎng)問(wèn)樣品的所有特征：TWE、RWE、波前像差、MTF、PSF等等！

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

 

通用性：從紫外到紅外，模塊兼容獨立使用

強大的獨特技術(shù)：高分辨率、大動(dòng)態(tài)范圍、納米級靈敏度

易于使用：緊湊且易于對齊

 

產(chǎn)品參數：

 

1-選擇您的波前傳感器：SID4UV/SID4/SID4-HR/SID4-SWIR/SID4SWIR-HR/SID4DWIR

2-選擇您的R-Cube波長(cháng)(nm)*：365/405/530/625/740/780/810/850/940/1050/1550/3900

3.1-使用聚焦系統(F#)塑造光束*：0.6/1/1.6/2.5/5/10

3.2-使用擴束器塑造光束–出瞳直徑(mm)*：8/15/30/60/130

+參考鏡：平面或球體

 

法國Phasics  SID4-UHR

 

產(chǎn)品介紹：

 

SID4-UHR超高分辨率波前傳感器適用于光學(xué)計量需求。它結合了SID4的易于實(shí)施與高采樣和分辨率。它的大孔徑允許對整個(gè)被測樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)波前測量。SID4-UHR針對表面檢測（粗糙度、高頻缺陷檢測...）和光學(xué)元件表征（透鏡、物鏡、非球面和自由曲面光學(xué)...）進(jìn)行了優(yōu)化。它采用高性能相機構建，為激光表征提供了令人難以置信的精度。具有如此緊湊性的512x512（選件666x666）相位圖采樣使SID4-UHR成為研究和工業(yè)領(lǐng)域的光學(xué)和激光計量的獨特工具。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

 

非常高分辨率

大分析瞳孔：15.16x15.16mm²

消色差

 

產(chǎn)品參數：

 

波長(cháng)范圍：400-1100 納米

孔徑尺寸：15.16 x 15.16 平方毫米

空間分辨率：29.6 µm（選項 22.2 µm）

相位和強度采樣：512 x 512（選項 666 x 666）

分辨率（相位）：2 納米有效值

準確性：15 納米有效值

獲取率：8 幀/秒

實(shí)時(shí)處理頻率*：1 fps（全分辨率）

界面：千兆以太網(wǎng)

尺寸 (WxHxL)：60 x 60 x 70 毫米³

重量：~450 克