德國PI 傾斜平臺附帶空氣軸承A-523

德國PI 傾斜平臺附帶空氣軸承A-523

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
A-523 是一款帶直接驅動(dòng)的空氣軸承 Z 傾斜/傾斜平臺。 該平臺設計為平行運動(dòng)多軸系統，可用于 Z 軸和傾斜/傾斜運動(dòng)。 該平臺以微型格式提供超精密。 非接觸式組件的組合形成了一個(gè)無(wú)摩擦運動(dòng)平臺，可提供頂級性能、質(zhì)量和使用壽命。 當 A-523 與 A-81x 或 A-82x 系列控制器一起訂購時(shí)，PI 在應用了伺服調諧優(yōu)化和施加負載的情況下執行 Z 平臺的配置和布線(xiàn)。 您會(huì )收到一個(gè)完整的、即用型的定位系統。



產(chǎn)品優(yōu)勢：

1.      Z 方向的行程范圍為 ±2.5 mm
2.      以 θX、θY 為單位的旋轉范圍至 ±1°
3.      負載能力達 8 公斤
4.      平臺直徑 250 毫米
5.      總高度 60 毫米

產(chǎn)品參數：

活動(dòng)軸 Z θX θY
行程 Z 5 mm
旋轉范圍 θX 2°
θY 中的旋轉范圍 1.6 °
Z 方向的加速度，空載 10 m/s² max.
Z 方向的最大速度，空載 200 mm/s
偏航（θX 方向的旋轉串擾與 Z 方向的運動(dòng)）± 25 µrad typ.
俯仰（θY 方向的旋轉串擾，Z 方向的運動(dòng)）± 25 µrad
Z ± 0.25 µm 典型值的雙向重復性。
θX ± 8 µrad 典型值的雙向重復性。
θY ± 8 µrad 典型值的雙向重復性。
Z 軸定位精度，校準 ± 0.5 µm typ.
以 θX 為單位的定位精度，未校準 ± 15 µrad typ.
θY 中的定位精度，未校準 ± 15 µrad typ.
Z 0.01 µm 典型值的最小增量運動(dòng)。
θX 中的最小增量運動(dòng) 0.06 µrad typ.
θY 中的最小增量運動(dòng) 0.06 µrad typ.
集成傳感器 絕對線(xiàn)性編碼器
傳感器信號 BiSS-C
傳感器分辨率 1nm
標稱(chēng)電壓 24V
峰值電壓 60 V
標稱(chēng)電流，RMS 1.4 A
峰值電流，RMS 2.8 A
力常數 5.9 N/A
電阻相 - 5.2 Ω
電感相相 1 mH
反電 4.2 V s/m max.
極距 N-N 19.66 mm

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德國PI 傾斜平臺附帶空氣軸承A-523