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      德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

          

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      品牌mlase 有效期至長(cháng)期有效 最后更新2023-02-27 16:20
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      德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

      德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

       

      MLase MLI 系列由具有直接波長(cháng)的準分子激光器組成,適用于工業(yè)應用。當然,我們可以調整我們的基本設備以滿(mǎn)足您的個(gè)性化需求。

      MLase 的現代緊湊型 MLI 準分子激光器是波長(cháng)為 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的脈沖重復頻率。

      MLase是市場(chǎng)上使用壽命最長(cháng)、可靠性最高、運營(yíng)成本低的獨立設備。它們均勻的鋼型材和能量穩定性使它們非常適合要求苛刻的應用。

      MLase的LC準分子激光系統還能夠進(jìn)行主動(dòng)水冷卻(使用生活用水或外部熱交換器;無(wú)需純凈水),以實(shí)現穩定的連續運行。

       

      ?

       

      常用型號:

      MLI-200

      MLI-500

      MLI-1000

      參數介紹:

      參數

      ArF

      ArF

      ArF

      KrF

      KrF

      KrF

      波長(cháng)(納米)

      193

      193

      193

      248

      248

      248

      脈沖重復頻率(赫茲)

      200

      500

      1000

      200

      500

      1000

      穩定的脈沖能量 (mJ)

      6

      6

      6

      10

      10

      10

      穩定平均功率 (W)

      1,2

      3,0

      6,0

      2,0

      5,0

      10

      脈沖穩定性(標準偏差%)

      2

      2

      2

      2

      2

      2

      光束寬度(FWHM,VxHmm)

      6×3

      6×3

      6×3

      6×3

      6×3

      6×3

      光束發(fā)散(FWHM,VxHmm)

      2×1

      2×1

      2×1

      2×1

      2×1

      2×1

      脈沖長(cháng)度

      5-10

      5-10

      5-10

      5-15

      5-15

      5-15

      張曼麗
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      德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

       

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