德國Physik帶光圈的壓電納米定位器 P-733.3 XYZ系列

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Physik 多軸壓電

Physik PI多軸壓敏儀允許在多達6個(gè)軸上以亞納米級精度進(jìn)行定位和掃描，包括所有傾斜和旋轉方向。從特別緊湊的壓電立方體到具有大孔徑和低剖面的設計，有許多變體可供選擇。

P-733.3 XYZ 壓電納米定位器

帶孔徑的高精度XYZ掃描儀

行程可達 120 μm × 120 μm × 120 μm

超緊湊：44 mm × 44 mm × 44 mm

分辨率高達 0.2 nm

快速響應

無(wú)間隙和高精度固態(tài)導軌

通過(guò)PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器實(shí)現超長(cháng)的使用壽命

用于快速掃描

帶集成光纖支架的版本

特別具有成本效益的系統

應用

光子學(xué)/集成光學(xué)

顯微操作

生物工藝學(xué)

半導體測試

光纖定位

通過(guò)無(wú)間隙固態(tài)接頭導向裝置實(shí)現高導向精度

固態(tài)接頭導軌無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動(dòng)不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內運行。

PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器具有出色的使用壽命®

獲得專(zhuān)利的PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動(dòng)器的使用壽命是傳統聚合物絕緣致動(dòng)器的十倍。經(jīng)過(guò) 100 億次循環(huán)驗證，無(wú)一次故障。

P-733.3CD

P-733.3CL

P-733.3DD

P-561 • P-562 • P-563 PIMars 納米定位臺

高精度納米定位器，最多 3 個(gè)軸

X、Y 軸的行程可達 100 μm × 100 μm，Z 軸軸的行程可達 10 μm

電容式傳感器分辨率高達 0.1 nm

高速、直接驅動(dòng)版本

可根據要求提供超高真空和非磁性版本

通過(guò)并聯(lián)運動(dòng)學(xué)提高精度和動(dòng)態(tài)性

用于主動(dòng)補償領(lǐng)先誤差的并行計量

無(wú)間隙和高精度固態(tài)導軌

自由光圈 50 mm × 50 mm，適用于透射光應用

應用

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩模/晶圓定位

表面計量

納米壓印

顯微操作

圖像處理/防抖

具有高平整度和運動(dòng)直線(xiàn)度的納米定位

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線(xiàn)性度、高長(cháng)期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。

自動(dòng)配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據需要組合并快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開(kāi)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )自動(dòng)使用此數據。

PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器具有出色的使用壽命®

獲得專(zhuān)利的PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動(dòng)器的使用壽命是傳統聚合物絕緣致動(dòng)器的十倍。經(jīng)過(guò) 100 億次循環(huán)驗證，無(wú)一次故障。

通過(guò)無(wú)間隙固態(tài)接頭導向裝置實(shí)現高導向精度

固態(tài)接頭導軌無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動(dòng)不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內運行。

通過(guò)平行位置測量實(shí)現納米范圍內的高路徑保真度

所有自由度均根據單個(gè)固定基準進(jìn)行測量?？梢詫?shí)時(shí)調節運動(dòng)到另一個(gè)軸的不需要的串擾（取決于帶寬）（主動(dòng)引導）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也能實(shí)現納米范圍內的高路徑保真度。

P-561.3CD

P-561.3CL

P-562.3CD

P-562.3CL

P-563.3CD

P-563.3CL

P-561.3DD

P-517 • P-527 多軸壓電掃描儀

具有直接位置測量功能的高動(dòng)態(tài)納米定位器/掃描儀

帶壓電陶瓷驅動(dòng)器和固態(tài)接頭的升降/傾斜工作臺

2 軸和 3 軸版本（XY 和 XYθZ)

行程可達 200 μm

亞納米分辨率

應用

測量

干涉

光子學(xué)/集成光學(xué)

光刻

納米定位

掃描顯微鏡

樣品比對

微加工

PICMA® 壓電陶瓷促動(dòng)器具有出色的使用壽命

獲得專(zhuān)利的PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動(dòng)器的使用壽命是傳統聚合物絕緣致動(dòng)器的十倍。經(jīng)過(guò) 100 億次循環(huán)驗證，無(wú)一次故障。

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線(xiàn)性度、高長(cháng)期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。

通過(guò)無(wú)間隙固態(tài)接頭導向裝置實(shí)現高導向精度

固態(tài)接頭導軌無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動(dòng)不敏感。它們在很寬的溫度范圍內工作。

自動(dòng)配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據需要組合并快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開(kāi)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )自動(dòng)使用此數據。

通過(guò)平行位置測量實(shí)現納米范圍內的高路徑保真度

所有自由度均根據單個(gè)固定基準進(jìn)行測量?？梢詫?shí)時(shí)調節運動(dòng)到另一個(gè)軸的不需要的串擾（取決于帶寬）（主動(dòng)引導）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也能實(shí)現納米范圍內的高路徑保真度。

P-517.2CD

P-517.2CL

P-517.3CD

P-517.3CL

P-517.RCD

P-527.2CD

P-527.2CL

P-527.3CD

P-527.3CL

P-527.RCD