Leybold帶風(fēng)冷密封封閉式電機的羅茨鼓風(fēng)機

RUVAC WS 羅茨鼓風(fēng)機由風(fēng)冷或水冷封閉式電機驅動(dòng)?？捎玫淖冾l器已與泵匹配，因此排除了機械過(guò)載的可能性。在壓差過(guò)高的情況下，泵的轉速會(huì )自動(dòng)降低，直到其負載。RUVAC WSU系列羅茨真空泵配有額外的集成壓力均衡管路和壓差閥。這些系列的泵標配垂直泵送動(dòng)作。

2、Leybold帶風(fēng)冷密封封閉式電機的羅茨鼓風(fēng)機RUVAC WS 結構

兩條風(fēng)冷管路 WS/WSU，每條管路有四種泵尺寸

由風(fēng)冷封閉式電機驅動(dòng)的高度密封風(fēng)冷泵

用礦物油潤滑（或者用LVO 400潤滑）

電機定子線(xiàn)圈中的過(guò)溫開(kāi)關(guān)

所有彈性體密封件均由 FPM （FKM）/氟橡膠制成

帶壓差閥的集成壓力均衡管路可防止 WSU 型號過(guò)載（可選）

變頻器可用于在 251 至 2001 Hz 之間操作 RUVAC WS 20 至 100 泵

無(wú)軸通向大氣，因此特別密封

從垂直泵送到水平泵送動(dòng)作的轉換可以從客戶(hù)的角度完成

3、提供設備

所需數量的油與泵單獨供應（例外情況除外）

如果沒(méi)有說(shuō)明其他類(lèi)型的油，則使用礦物油LVO 100作為標準配置

用氮氣吹掃，防腐蝕

進(jìn)氣法蘭中的墊圈，帶集成式防塵篩

WAU/WSU/WHU 系列羅茨真空泵配有額外的集成壓力均衡管路和壓差閥。

4、應用

適用于需要在 10-2 和 10-4 mbar（0.75 x 10-2 和 0.75 x 10-4 Torr）壓力下實(shí)現高抽速的應用

用于必須避免因空氣進(jìn)入或泵送介質(zhì)泄漏而可能造成污染的地方

吸入或泵送高純度氣體

用于潔凈室，空氣不得通過(guò)電機風(fēng)扇再循環(huán)

RUVAC羅茨鼓風(fēng)機是建筑玻璃鍍膜行業(yè)的標準設備。結合成熟的油封SOGEVAC泵，它們在負載鎖腔室實(shí)現了最短的抽氣時(shí)間。結合干式壓縮 DRYVAC 和螺桿泵，它們可確保工藝腔室的干燥、可靠真空。

RUVAC羅茨鼓風(fēng)機用于許多應用中，以實(shí)現盡可能短的循環(huán)時(shí)間，例如在需要快速抽真空的地方，例如，在支撐負載鎖定室或高速食品包裝中。

RUVAC羅茨鼓風(fēng)機在氣相沉積過(guò)程之前抽真空燈和絕緣表面時(shí)，可快速達到低于10-3毫巴的壓力。

RUVAC鼓風(fēng)機還用于制造硅單晶的單晶拉拔設備，硅單晶是制造半導體和太陽(yáng)能電池的基本材料。我們很樂(lè )意為您提供廣泛的產(chǎn)品和應用支持以及專(zhuān)業(yè)知識。

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