品牌MLase | 有效期至長(cháng)期有效 | 最后更新2023-07-28 15:58 |
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產(chǎn)品優(yōu)勢:
1.MLI系列設備為工業(yè)應用提供具有直接波長(cháng)的準分子激光器。具有市場(chǎng)上較
長(cháng)的正常運行時(shí)間和可靠性以及較低的運營(yíng)成本。由于均勻的光束輪廓和能量穩定性,適用于要求苛刻的應用。
張曼麗
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2.MLI 系列準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達16 mJ的高脈沖能量和高達1,000 Hz的重復頻率。
3.如果需要,標準設置的激光器可以根據個(gè)人需求進(jìn)行調整。如:準分子激光器可用的波長(cháng)為 193 nm(氣體:ArF 氟化氬)和 248 nm(氣體:KrF 氟化氪)??筛鶕筇峁┢渌ㄩL(cháng)如157nm等,也可以提供高功率版本HP
我們的LC準分子激光系統還能夠進(jìn)行主動(dòng)水冷(使用家用水或外部熱交換器;無(wú)純化水),以實(shí)現穩定的連續運行。
重量:每件80公斤
冷卻:水
電源功率:230V50/60Hz,最大功率2000W
外形尺寸(長(cháng)x寬x高):560x355X445毫米
波長(cháng)(納米)
193 193 193 248 248 248
重復頻率(赫茲)
200 500 1000 200 500 1000
穩定的
脈沖能量 (mJ)
6 6 6 10 10 10
穩定平均功率 (W)
1,2 3,0 6,0 2,0 5,0 10
脈沖穩定性(西格瑪 %)
2 2 2 2 2 2
光束尺寸(FWHM,VxHmm)
6×3 6×3 6×3 6×3 6×3 6×3
光束發(fā)散(FWHM,VxHmm) 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1
脈沖長(cháng)度
5-10 5-10 5-10 5-15 5-15 5-15
產(chǎn)品型號:
MLI - 200 / 500 / 1000
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000
工作日
9:00-18:00