PIEZOCONCEPT納米定位臺Z-STAGE.10原理介紹

 

PIEZOCONCEPT納米定位臺系列產(chǎn)品主要應用：

航天航空

顯微與成像

醫療技術(shù)

納米技術(shù)

數據存儲技術(shù)

圖像處理

測量/檢測

生物科學(xué)與生命科學(xué)

集成光學(xué)

激光加工與激光光刻

半導體技術(shù)

超精密加工

 

Z-STAGE系列是一款緊湊型Z型直接驅動(dòng)納米定位器，具有高速能力。它可以與具有2×66毫米孔徑（LF66 / LFHS2）的2軸納米定位器結合使用，以獲得SPM3或SPM3LR。Z 載物臺可提供 5、10、25 或 50μm 的運動(dòng)范圍。

 

納米定位器Z-STAGE.10型號參數

活動(dòng)范圍：50μm

分辨率0.05nm

本底噪聲：0.005nm

重性 ：0.1nm

線(xiàn)性化：0.02

諧振頻率：3500Hz

剛度：2.7N/um

材質(zhì)：鋁

尺寸：Φ30x 69,8 mm

 

原理：納米位移臺主要采用超精密運動(dòng)控制技術(shù)超精密技術(shù)是由光、機、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運動(dòng)控制技術(shù)。內部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅動(dòng),其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動(dòng);通過(guò)柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動(dòng)傳遞和放大;經(jīng)超精密電容傳感器將運動(dòng)信息傳遞給控制系統,再由控制系統對該運動(dòng)進(jìn)行修正、補償和控制;在對運動(dòng)系統進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí),可實(shí)現納米、亞納米級別的運動(dòng)分辨率和運動(dòng)控制精度。

 

型號：

PIEZOConCEPT HS1H.10

PIEZOConCEPT HS1H.30

PIEZOConCEPT HS1H.50

PIEZOConCEPT HS1H.70

PIEZOConCEPT HS1H.100

PIEZOConCEPT HS1.10

PIEZOConCEPT HS1.30

PIEZOConCEPT HS1.50

PIEZOConCEPT HS1.70

PIEZOConCEPT HS1.100

PIEZOConCEPT Z-STAGE.5

PIEZOConCEPT Z-STAGE.10

PIEZOConCEPT Z-STAGE.25

PIEZOConCEPT Z-STAGE.50

PIEZOConCEPT TT1.5

PIEZOConCEPT TT1.10

PIEZOConCEPT LFHS2.30

PIEZOConCEPT LFHS2.50
 PIEZOCONCEPT納米定位臺Z-STAGE.10原理介紹