德國PI納米定位平臺P-561采用電容式傳感器

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自1970年成立以來(lái)，PI（Physik Instrumente）已成為精密定位技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)制造商。PI開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)用于線(xiàn)性、旋轉和垂直運動(dòng)或不同軸組合的各種定位平臺和致動(dòng)器。從精密機械和電子技術(shù)到位置傳感器技術(shù)，以及子公司 PI Ceramic 開(kāi)發(fā)的壓電陶瓷和致動(dòng)器。我們開(kāi)發(fā)的技術(shù)包括從基本解決方案到特定應用版本。

主要產(chǎn)品：

PI納米定位壓電撓性平臺

PI微型位移臺

PI線(xiàn)性位移臺

PI線(xiàn)性致動(dòng)器

PI旋轉位移臺

PI六足位移臺

P-733.3 XYZ 壓電納米定位儀 帶孔徑的高精度 XYZ 掃描儀

X 和 Y 移動(dòng)范圍達 100 µm × 100 µm，Z 移動(dòng)范圍達 10 µm

采用電容式傳感器，分辨率達 0.1 納米

直接驅動(dòng)的高速版本

可根據要求提供超高真空兼容型和非磁性型

平行運動(dòng)學(xué)，實(shí)現更高的精度和動(dòng)態(tài)性能

并行計量，主動(dòng)補償導向誤差

零間隙、高精度撓性導軌系統

50 mm × 50 mm 透明孔徑，適用于透射光應用

P-561 - P-562 - P-563 PIMars 納米定位平臺 多達 3 軸的高精度納米定位器

X 軸和 Y 軸平行運動(dòng)學(xué)設計，響應時(shí)間更快，多軸精度更高

行程范圍達 300 × 300 × 300 µm

采用電容式傳感器，線(xiàn)性度高

零間隙和高精度撓性導軌

出色的掃描平面度

高動(dòng)態(tài) XYZ 版本

66 mm × 66 mm 凈空

采用 PICMA® 壓電執行器，使用壽命長(cháng)

超高壓版本可達 10-9 hPa

型號示例：

PI納米定位平臺P-616

PI納米定位平臺P-611.3

PI納米定位平臺P-733.3

PI納米定位平臺P-561

PI納米定位平臺P-562

PI納米定位平臺P-563

PI納米定位平臺P-517

PI納米定位平臺P-527

PI納米定位平臺P-518

PI納米定位平臺P-528

德國PI納米定位平臺P-561采用電容式傳感器