vaisala半導體折光儀 PR-33-S的性能特征
王新宇
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vaisala公司在全球范圍內研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售環(huán)境和工業(yè)測量產(chǎn)品，并致力于提高生活質(zhì)量、加強環(huán)境保護以及安全高效經(jīng)濟的工業(yè)生產(chǎn)。 維薩拉公司的主要客戶(hù)群為世界各國的氣象、國防安全、道路和鐵路交通、水文資源管理組織，以及各研究機構、保險行業(yè)、公用事業(yè)以及各種工業(yè)領(lǐng)域，公司生產(chǎn)的產(chǎn)品97%用于出口。
維薩拉 K-PATENTS® 半導體折光儀 PR-33-S：
緊湊型折光儀，采用超純改性PTFE流通池主體，適用于半導體液體化學(xué)過(guò)程。通過(guò) 1/4 — 1 英寸的立柱或擴口接頭連接到工藝。維薩拉 K-PATENTS® 半導體折光儀 PR-33-S 可監測潔凈室環(huán)境和集成工藝工具（混合、清潔、蝕刻和 CMP）中晶圓廠(chǎng)化學(xué)品的濃度。
PR-33-S 由一個(gè)超純的改性 PTFE 流通池主體和一根以太網(wǎng)電纜組成，任何標準 PoE（以太網(wǎng)供電）交換機都可以使用該電纜將電力傳輸到傳感器并將數據傳輸到計算機。PR-33-S 實(shí)時(shí)監測化學(xué)品濃度，并在化學(xué)品超出規格時(shí)提供以太網(wǎng)輸出信號和即時(shí)反饋。例如，可以配置低濃度和高濃度警報來(lái)控制和延長(cháng)浴槽壽命。濃度是通過(guò)對溶液的折射率nD和溫度進(jìn)行光學(xué)測量來(lái)確定的。
特征：
PR-33-S 直接與喇叭口或支柱配件在線(xiàn)安裝。PR-33-S 結構緊湊，不含金屬，占用空間很小。
N.I.S.T. 可溯源校準，使用標準 RI 液體進(jìn)行驗證，并經(jīng)過(guò)驗證的程序。。
通過(guò)以太網(wǎng)的遠程面板，用于數據記錄和遠程操作。
通信由標準 UDP/IP 協(xié)議構建。
過(guò)程溫度范圍：-20°C – 85°C （-4°F – 185°F）。
通過(guò)內置 Pt1000 和自動(dòng)數字溫度補償實(shí)現快速過(guò)程溫度測量。
優(yōu)勢：
維薩拉 K-PATENTS® 半導體折光儀 PR-33-S 用于過(guò)程控制和監測，并提供連續的以太網(wǎng)輸出信號。設計緊湊，設備直接在線(xiàn)安裝。
折射率 nD 1.3200–1.5300 的全測量范圍，相當于 0-100% 重量?？蛇x范圍 nD 1.2600–1.4700 用于強 HF。 典型精度 R.I.+ 0.0002，通常相當于 0.1%（重量），例如水中的 HCl。
測量不受 PPM 范圍內的顆粒、氣泡、湍流或雜質(zhì)的影響。
型號：
TMW92測試變送器，電流輸出
TMW93測試變送器，電壓輸出
HMW92(D) RH+T變送器，電流輸出(帶顯示器)
HMW93(D) RH+T變送器，電壓輸出(帶顯示器)
HMW95(D) RH+T變送器(帶顯示器)，Modbus RTU通信
TMW90 測試變送器，可配置模擬輸出模型
HMW90 RH+T變送器，可配置模擬/數字模型
HMD82， HMD82D， HMD83， HMD83D
HMS82， HMS82C， HMS83， HMS83C
HMW82， HMW82P100， HMW83， HMW88， HMW89. HMW89D
TMD82，TMW82， TMW88
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