布魯克斯Brooks質(zhì)量流量控制器GF40技術(shù)規格
布魯克斯Brooks Instrument
Brooks GF40質(zhì)量流量控制器帶彈性體密封，為使用多種氣體、頻繁更換氣體類(lèi)型或需要重新調整量程同時(shí)保留氣體測量和控制的系統、過(guò)程和設施提供了完美選擇準確性。
Brooks GF40質(zhì)量流量控制器特征：
可編程多氣體/多量程功能
低于 1 秒的流量響應時(shí)間和 1% 設定點(diǎn)的精度，適用于工業(yè)應用
適合各種氣體
快速響應，哈氏合金傳感器
Brooks GF40質(zhì)量流量控制器應用：
太陽(yáng)能電池化學(xué)氣相沉積系統
生命科學(xué)生物反應器
真空工藝
納米技術(shù)/MEMS制造
等離子、玻璃和卷筒紙涂層系統
歧管/氣體輸送系統
Brooks GF40質(zhì)量流量控制器技術(shù)規格：
流量范圍（滿(mǎn)量程）：3 sccm - 50 slm
準確性：1% SP 35；0.35% 滿(mǎn)量程 2-35%
壓力：150 磅/平方英寸/10 巴
重復性：<0.20% SP
響應時(shí)間：常閉閥：300 ms - <1 sec
密封材料：彈性體密封
表面處理：32µ 英寸 Ra
接液材料：316 不銹鋼
模擬通信：0-5 伏、0-10 伏；0-20 毫安、4-20 毫安
布魯克斯Brooks質(zhì)量流量控制器GF40技術(shù)規格
周利云
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