PI A-322 帶空氣軸承的PIglideHS平面掃描儀

分辨率為1納米的XY定位系統

掃描應用的完美選擇或精密定位

行程達500毫米 × 1000毫米

分辨率達1納米

無(wú)塵室兼容

負載容量達245牛

速度高達2毫米/秒

PIglide參考級XY定位系統

PIglide HS平面掃描儀帶磁性線(xiàn)性電機、真空預載和絕對編碼器：非接觸式無(wú)摩擦運動(dòng)可實(shí)現最高精度和可靠性。

絕對編碼器

絕對編碼器提供明確的位置信息，幫助即刻確定位置。這意味著(zhù)在接通期間無(wú)需定位，提高了操作過(guò)程中的效率和安全性。

PIMag®磁力直接驅動(dòng)

三相磁性直接驅動(dòng)器在動(dòng)力傳動(dòng)系統中未使用機械零件，其可直接將驅動(dòng)力傳輸至運動(dòng)平臺，且無(wú)摩擦。驅動(dòng)器可實(shí)現高速度和高加速度。 無(wú)鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務(wù)，因為其不會(huì )與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩的運行，同時(shí)，在高速狀態(tài)下也不會(huì )產(chǎn)生振動(dòng)。避免了控制的非線(xiàn)性行為并且每個(gè)位置都很容易控制。驅動(dòng)力可任意設定。

定位系統設計用于將產(chǎn)出最大化的同時(shí)確保最高精度。橋軸至龍門(mén)軸的撓性聯(lián)軸器可實(shí)現側向解耦，不會(huì )犧牲系統的剛性。

利用來(lái)自領(lǐng)先制造商的數字控制器，操作可提供高級控制算法，以改善動(dòng)態(tài)性和誤差補償。

附件和可選配件

PIglide過(guò)濾器和空氣預處理器

額外的軸

機器底座

花崗巖底座板和隔振系統

應用領(lǐng)域

PIglide定位系統非常適用于高精度應用，諸如計量、光子學(xué)和精密掃描以及半導體或平板顯示器制造中的應用。

由于運動(dòng)無(wú)摩擦，不會(huì )形成顆粒，PIglide平臺非常適用于無(wú)塵室應用。

訂購信息：

A-322.AB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，350 mm×350 mm行程，絕對編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線(xiàn)電機，48 V

A-322.BB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，350 mm×500 mm行程，絕對編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線(xiàn)電機，48 V

A-322.CB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，500 mm×500 mm行程，絕對編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線(xiàn)電機，48 V

A-322.DB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，500 mm×1000 mm行程，絕對編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線(xiàn)電機，48 V

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