PI (Physik Instrumente)NEXLINE線(xiàn)性促動(dòng)器N-216

NEXLINE線(xiàn)性促動(dòng)器

長(cháng)行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

譚晶 QQ：2853369887   手機：18518172492 電話(huà)：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn

N-216

§ 力量生成達600牛

§ 保持力達800牛

§ 行程20毫米

§ 帶分辨率的集成式直接測量線(xiàn)性編碼器 5納米

應用領(lǐng)域

§ 工業(yè)級精度定位

§ 半導體技術(shù)

§ 半導體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術(shù)

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場(chǎng)和真空中運動(dòng)

采用PiezoWalk步進(jìn)驅動(dòng)實(shí)現納米精度和大進(jìn)給力 、數個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在PiezoWalk步進(jìn)驅動(dòng)中執行步進(jìn)運動(dòng)，將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運動(dòng)。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線(xiàn)性效應、機械作用或彈性形

變不會(huì )對測量造成影響

適用于復雜真空應用

PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場(chǎng)中運行。驅動(dòng)器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅動(dòng)器 還可用于有較強紫外線(xiàn)輻射的無(wú)塵室或環(huán)境中。

訂購信息

N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器 ，20毫米，300牛，開(kāi)環(huán)

N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器 ，20毫米，300牛，線(xiàn)性編碼器，5納米分辨率

N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器 ，20毫米，600牛，開(kāi)環(huán)

N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器 ，20毫米，600牛，線(xiàn)性編碼器，5納米分辨率

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PI (Physik Instrumente)NEXLINE線(xiàn)性促動(dòng)器N-216