IBS光學(xué)干涉儀ARINNA AR50 用于3D表面拓撲測量

 

 

 ARINNA能夠測量離散的步高和表面質(zhì)量，垂直分辨率為 <2nm。巨型像素攝像頭可在 1 秒內捕獲表面掃描?？捎糜谠诰€(xiàn)缺陷檢測和特征化、光學(xué)表面和結構測量、3D表面拓撲測量、MEMS/NEMS 檢測等。

 

 

技術(shù)參數

 

Z 范圍 （μm） 0,9

每次捕獲 FOV （毫米） 0，11 x 0，11

Z 分辨率 （μm） 0,002

結果時(shí)間（秒） 1,5

工作距離（毫米）

分辨率為 15kHz 有色 0，02%，有色 0，02%

零/偏移調整 是的

典型的熱漂移 0，04% F.S.*/C

LED 范圍指示器 是的

 

 

 

 ARINNA 是一種高速干涉儀，它結合了納米級表面測量的優(yōu)點(diǎn)、堅固性和小巧的占地面積，使其能夠在您需要的地方進(jìn)行在線(xiàn)測量。雖然干涉儀帶來(lái)了速度、精度和無(wú)損測量的優(yōu)勢，但階梯結構和嘈雜的環(huán)境通常是它們的局限性。ARINNA 并非如此。

 

ARINNA 采用的波長(cháng)掃描技術(shù)避免了在測量頭中進(jìn)行機械掃描的需要，正如一些干涉測量系統所采用的那樣。這克服了對測量速度和系統集成（例如頭部 360 度定向的能力）的相關(guān)限制。對于在線(xiàn)使用，ARINNA 的設計中集成了獲得專(zhuān)利的振動(dòng)補償技術(shù)。這種技術(shù)避免了對大型和/或復雜的隔離系統的需要；有時(shí)是高精度光學(xué)測量系統在現場(chǎng)應用的限制因素。