產(chǎn)品介紹
郭浪
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輸出:頻率,20 kHz 電壓,+ / - 800 V 功率,120kW
高達 140 千瓦
中頻/雙極脈沖發(fā)生器 HXB 900 - HXB 1400 將高性能、緊湊型設計和快速滅弧結合在一個(gè)穩定的控制柜中。這種雙極脈沖發(fā)生器適用于長(cháng)達 4 米的陰極反應涂層工藝。
陰極功率的自動(dòng)平衡和不對稱(chēng)脈沖功率的功率商調節器(高達 10: 90%)優(yōu)化了鍍層質(zhì)量并延長(cháng)了靶材壽命。發(fā)生器自動(dòng)記錄所有相關(guān)工藝參數并不斷調整其滅弧。調試或目標更改無(wú)需手動(dòng)設置。即使在非空調環(huán)境中,強大的水冷系統也能確保最大的可靠性。
特點(diǎn)
輸出功率 90 kW -140 kW
水冷
陰極反應涂層工藝長(cháng)達 4 米
自動(dòng)平衡 陰極輸出
不對稱(chēng) 脈沖功率的功率商控制器(高達 10: 90%)
全自動(dòng)電弧管理 (0.3mJ/kW)
工藝重現性
優(yōu)于 2%
常用型號
ADL HXB 900
ADL HXB 1050
ADL HXB 1200
ADL HXB 1400
技術(shù)數據
電流調節、電壓調節或功率調節,
電壓控制自動(dòng)點(diǎn)火
通過(guò)接口卡的外部操作模式
精度 + / - 電流、電壓或功率標稱(chēng)值的 1%
脈沖功率分配 10 至 90% 或自動(dòng)平衡
脈沖頻率 20 kHz,固定
脈沖關(guān)閉時(shí)間(消隱時(shí)間) 2 µs 至 20 µs(自動(dòng)調整)
工作原理 雙極
滅弧自動(dòng)參數調整
刪除時(shí)間 <2 µs
電弧能量 <0.3 mJ/kW