PI電容傳感器德國Physik Instrumente

電容（電容式）位移傳感器是測量、高動(dòng)態(tài)納米計量器件，可提供高的線(xiàn)性度和精度。PI電容傳感器/信號調理器電子元件利用高頻交流激勵信號來(lái)增強帶寬和無(wú)漂移測量穩定性（可以在幾個(gè)小時(shí)內實(shí)現亞納米級穩定性）。為了提供精度等級更高、分辨率優(yōu)于一納米的納米定位系統，PI開(kāi)始開(kāi)發(fā)電容式位置傳感器件。從那時(shí)起，已經(jīng)制造了數千個(gè)單探頭和雙探頭傳感器和控制器，用于PI的閉環(huán)壓電定位平臺和各種定制納米精密測量應用。

PI 優(yōu)勢：

·         提供單板和雙板傳感器，具有更大的靈活性

·         測量帶寬高達 10kHz

·         亞納米級分辨率

·         提供定制多傳感器電子設備（模擬和數字）

·         提供閉環(huán)運動(dòng)控制器

·         定制納米精密定位系統，帶集成電容式傳感器

電容式測距原理

兩種類(lèi)型的電容式距離傳感器很常見(jiàn)：?jiǎn)坞姌O傳感器和兩電極傳感器。

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雙電極傳感器可以實(shí)現更低的噪聲水平和更高的分辨率。其原理基于兩個(gè)導電表面和高頻（>100kHz）交流電，在它們之間產(chǎn)生均勻的電場(chǎng)。電容與有效表面除以距離成正比。對于給定區域，測量的距離與距離成正比。單電極電容式傳感器的工作原理類(lèi)似。它們更易于處理，并且可以針對各種導電表面進(jìn)行測量。