德國Physik掃描定位器P-587 6軸壓電精密調節器

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Physik 多軸壓電

Physik PI多軸壓敏儀允許在多達6個(gè)軸上以亞納米級精度進(jìn)行定位和掃描，包括所有傾斜和旋轉方向。從特別緊湊的壓電立方體到具有大孔徑和低剖面的設計，有許多變體可供選擇。

6軸壓電定位器

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P-587 6軸壓電精密調節器

行程大，可直接進(jìn)行位置測量

用于 X、Y、Z、θ 的掃描和定位X0 $Y0 $Z

線(xiàn)性行程 800 μm × 800 μm × 200 μm

旋轉速度高達 1 mrad

通過(guò)并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更快的響應時(shí)間和更高的多軸精度

電容式傳感器可實(shí)現最大線(xiàn)性度

通過(guò)PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器實(shí)現超長(cháng)的使用壽命

無(wú)間隙和高精度固態(tài)導軌

所有 6 個(gè)自由度的主動(dòng)補償

應用

干涉

測量

納米壓印

半導體測試

半導體制造

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線(xiàn)性度、高長(cháng)期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。

自動(dòng)配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據需要組合并快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開(kāi)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )自動(dòng)使用此數據。

適用于要求苛刻的真空應用

壓電系統中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作時(shí)無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。不含聚合物的壓電陶瓷系統可實(shí)現特別低的釋氣率。

PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器具有出色的使用壽命®

獲得專(zhuān)利的PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動(dòng)器的使用壽命是傳統聚合物絕緣致動(dòng)器的十倍。經(jīng)過(guò) 100 億次循環(huán)驗證，無(wú)一次故障。

通過(guò)無(wú)間隙固態(tài)接頭導向裝置實(shí)現高導向精度

固態(tài)接頭導軌無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動(dòng)不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內運行。

通過(guò)直接位置測量實(shí)現最高精度

運動(dòng)直接在運動(dòng)平臺上測量，不受驅動(dòng)或導向元件的影響。這可實(shí)現最佳的可重復性、出色的穩定性和剛性、快速響應的控制。

P-587.6CD

P-562.6CD PIMars 6軸納米定位工作臺

6自由度高精度納米定位器

6 個(gè)運動(dòng)軸：3 ×線(xiàn)性，3 個(gè)×旋轉

線(xiàn)性行程可達 200 μm，傾斜角度可達 1 mrad。

通過(guò)并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更快的響應時(shí)間和更高的多軸精度

通過(guò)集成電容式傳感器實(shí)現最高線(xiàn)性度

無(wú)間隙和高精度固態(tài)導軌

出色的掃描平坦度

自由光圈 66 mm × 66 mm

通過(guò)PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器實(shí)現超長(cháng)的使用壽命

特高壓兼容多達 10 個(gè)-9hPa

應用

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物工藝學(xué)

掩模/晶圓定位

樣品定位

干涉

測量

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線(xiàn)性度、高長(cháng)期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。

自動(dòng)配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據需要組合并快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開(kāi)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )自動(dòng)使用此數據。

適用于要求苛刻的真空應用

壓電系統中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作時(shí)無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。不含聚合物的壓電陶瓷系統可實(shí)現特別低的釋氣率。

PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器具有出色的使用壽命®

獲得專(zhuān)利的PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動(dòng)器的使用壽命是傳統聚合物絕緣致動(dòng)器的十倍。經(jīng)過(guò) 100 億次循環(huán)驗證，無(wú)一次故障。

通過(guò)無(wú)間隙固態(tài)接頭導向裝置實(shí)現高導向精度

固態(tài)接頭導軌無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動(dòng)不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內運行。

通過(guò)平行位置測量實(shí)現納米范圍內的高路徑保真度

所有自由度均根據單個(gè)固定基準進(jìn)行測量?？梢詫?shí)時(shí)調節運動(dòng)到另一個(gè)軸的不需要的串擾（取決于帶寬）（主動(dòng)引導）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也能實(shí)現納米范圍內的高路徑保真度。

P-562.6CD