Oerlikon Leybold真空泵TURBOVAC i系列渦輪分子真空泵

機械、混合和磁懸浮高真空泵

渦輪分子真空泵用于需要清潔高真空或超高真空的應用，例如核聚變的研究與開(kāi)發(fā)，或涂層工業(yè)和分析儀器等工業(yè)領(lǐng)域。

 

原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉的渦輪機，其中渦輪機的級裝有多個(gè)轉子葉片。位于旋轉轉子葉片之間的是固定的定子盤(pán)，其葉片以相反的方向排列。

 

通過(guò)從旋轉轉子葉片到氣體分子的動(dòng)量傳遞，氣體分子最初非定向熱運動(dòng)轉變?yōu)閺谋玫娜肟诜ㄌm沿軸向前真空法蘭的方向運動(dòng)。

在分子流動(dòng)范圍內（即在壓力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 氣體分子的平均自由程大于轉子和定子葉片之間的間距（通常為零點(diǎn)幾毫米）。相應地，分子主要與光學(xué)致密的轉子葉片碰撞，從而產(chǎn)生高效的泵送作用。在層流（恒定）流量范圍內（即壓力超過(guò) 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））轉子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。

 

因此，渦輪分子泵無(wú)法在大氣壓下泵送氣體。

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC i

模塊化渦輪分子真空泵系列，抽速從 90 到 1450 l/s。

 

TURBOVAC 90 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 83 升/秒

抽速： 90 升/秒

 

TURBOVAC 350 i/iX

5 種變體

抽速 （Ar）： 260 升/秒

抽速： 360 升/秒

 

TURBOVAC 450 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 400 升/秒

抽速： 440 升/秒

 

TURBOVAC 250 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 210 升/秒

抽速： 250 升/秒

 

TURBOVAC 850 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 655 升/秒

抽速： 850 升/秒

 

TURBOVAC 450 iR

2 種變體

 

TURBOVAC 950 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 840 升/秒

抽速： 925 升/秒

 

TURBOVAC 850 iR

2 種變體

 

TURBOVAC 1450 i

8 種變體

抽速 （Ar）： 1280 升/秒

抽速： 1390 升/秒

 

TURBOVAC 1350 i

8 種變體

抽速 （Ar）： 1150 升/秒

抽速： 1350 升/秒

 

TURBOVAC 90 iR

3 種變體

 

TURBOVAC 950 iR

2 種變體

 

TURBOVAC 350 iR

2 種變體

 

TURBOVAC 250 iR

2 種變體

Oerlikon Leybold MAGiNTEGRA 帶磁力轉子懸架的渦輪分子泵

準確性、精密度和可靠性合二為一！

TURBOVAC MAGiNTEGRA 是磁懸浮泵：適用于分析、環(huán)境、研究和具有挑戰性的工業(yè)涂層應用的強大而緊湊的產(chǎn)品線(xiàn)。

 

高抽速和氣體吞吐量，可縮短抽空時(shí)間，從而縮短設備循環(huán)時(shí)間。

5軸主動(dòng)磁浮軸承和驅動(dòng)系統，將高可靠性與安全高效運行相結合。

完全集成的轉換器和電源：不再需要傳統的機架式控制器和互連電纜。

出于安全原因，在斷電的情況下，MAGiNTEGRA 驅動(dòng)系統切換到發(fā)電機模式，以保持轉子通過(guò)緩慢減速暫停。當電力恢復時(shí)，泵開(kāi)始自動(dòng)加速到正常速度。

MAGiNTEGRA 具有 IP 54 防護等級，使其成為惡劣工業(yè)應用環(huán)境中的理想泵;

這些磁力渦輪泵用于 10-1毫巴 （0.75 x 10-1托爾） 到 10-10毫巴 （0.75 x 10-10托爾）?？諝獾某樗購?300 l/s 到 2，200 l/s 不等。

TURBOVAC MAGiNTEGRA泵主要安裝在需要以下領(lǐng)域的區域：

 

無(wú)噪音和無(wú)振動(dòng)運行，

不含碳氫化合物，

免維護間隔長(cháng)。

 

TURBOVAC MAG W 2200 iP

8 種變體

插座連接：DN 40 ISO-KF

抽速（N?）： 2100 升/秒

 

TURBOVAC MAG W 1700 iP

8 種變體

插座連接：DN 40 ISO-KF

抽速（N?）： 1610 升/秒

 

TURBOVAC MAG W 1600 iP

4 種變體

入口連接：DN 250 ISO-F

插座連接：DN 40 ISO-KF

 

TURBOVAC MAG W 1300 iP

8 種變體

插座連接：DN 40 ISO-KF

抽速（N?）： 1100 升/秒

 

TURBOVAC MAG W 700 iP

2 種變體

插座連接：DN 25 ISO-KF

抽速（N?）： 590 升/秒

 

TURBOVAC MAG W 600 iP

2 種變體

插座連接：DN 25 ISO-KF

抽速（N?）： 550 升/秒

 

TURBOVAC MAG W 400 iP

2 種變體

插座連接：DN 16 ISO-KF

抽速（N?）： 365 升/秒

 

TURBOVAC MAG W 300 iP

2 種變體

插座連接：DN 16 ISO-KF

抽速（N?）： 300 升/秒

 

TURBOVAC MAG W 700 P

2 種變體

插座連接：DN 25 ISO-KF

抽速： 540 升/秒

 

TURBOVAC MAG W 600 P

2 種變體

插座連接：DN 25 ISO-KF

抽速： 520 升/秒

 

TURBOVAC MAG W 400 P

2 種變體

插座連接：DN 16 ISO-KF

抽速： 330 升/秒

 

TURBOVAC MAG W 300 P

2 種變體

插座連接：DN 16 ISO-KF

抽速（N?）： 300 升/秒