德國FuG Elektro
nik 射頻電源，提供最高水平的可靠性和可重復性
公司介紹：
FuG Elektronik GmbH 和 Guth High Voltage GmbH 現在是 XP Power 的一部分，XP Power 是世界領(lǐng)先的電子行業(yè)關(guān)鍵電源解決方案開(kāi)發(fā)商和制造商之一。
XP Power致力于成為電源解決方案的領(lǐng)先供應商，包括AC-DC電源和DC-DC轉換器，高壓電源 和射頻電源。
射頻功率系統
大批量、經(jīng)生產(chǎn)驗證的射頻解決方案
無(wú)論是過(guò)程穩定性還是易于集成，對高性能電源解決方案的要求往往都很復雜。我們的射頻專(zhuān)業(yè)知識受到客戶(hù)的信任，能夠在我們經(jīng)濟高效的解決方案中提供最高水平的可靠性和可重復性。
我們的射頻功率能力
當涉及到關(guān)鍵電力系統時(shí)，故障不是一種選擇，
這就是XP Power致力于在其射頻電源解決方案中提供最佳可靠性的原因，其控制和監視器使您能夠密切關(guān)注性能。
我們擁有易于集成的射頻發(fā)生器，具有最新的通信協(xié)議和先進(jìn)的脈沖功能。結合我們領(lǐng)先的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò )，我們幫助客戶(hù)解決他們最高價(jià)值的問(wèn)題。
增強了工藝重復性和最終使用壽命值
我們提供廣泛的射頻等離子體發(fā)生器和阻抗匹配網(wǎng)絡(luò )，可根據您的獨特應用進(jìn)行配置。從半導體加工到工業(yè)應用，我們的產(chǎn)品都能滿(mǎn)足您獨特的工藝要求。
XP Power射頻發(fā)生器采用新的穩定技術(shù)設計，可在工藝條件發(fā)生變化時(shí)消除射頻振蕩。這將帶來(lái)更可重復的逐運行供電。通過(guò)消除不穩定性，這些組件也可以在更安全的狀態(tài)下運行，從而提高射頻功率傳輸系統的壽命。
產(chǎn)品：
①：CDX系列
CDX系列是業(yè)界領(lǐng)先的雙射頻等離子體發(fā)生器。這種獨特的設計是XP射頻放大器40多年工程知識的結晶，將兩種不同的射頻輸出集成到一個(gè)緊湊、高性能的封裝中。在可維護性和集成性方面，CDX發(fā)生器是最具成本效益和靈活性的射頻解決方案，旨在滿(mǎn)足未來(lái)市場(chǎng)需求。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
可配置400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz或60MHz的任意兩個(gè)固定頻率
每輸出功率高達1.5kW
每個(gè)獨立通道提供可靠且可重復的射頻功率
靈活的平臺支持廣泛的應用程序
擁有成本低
②：CH系列
CH系列射頻發(fā)生器旨在優(yōu)化占地面積效率，將我們的XP功率射頻放大器和開(kāi)關(guān)模式直流技術(shù)結合到一個(gè)緊湊的半機架封裝中，具有高水平的功率傳輸可靠性和準確性。模塊化設計使CH生成器可配置用于任何客戶(hù)平臺。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
最寬的可選擇固定頻率：400kHz至60MHz
功率范圍從50W到1.5kW
頻率捷變調諧和高級脈沖
DeviceNet、RS232和EtherCAT
靈活的設計，便于工藝工具集成
采用TurboTune技術(shù)的經(jīng)濟高效的解決方案
③：CB系列
在必須具備工藝可靠性的情況下，CB射頻發(fā)生器采用我們經(jīng)過(guò)半導體生產(chǎn)驗證的固態(tài)設計，提供精確且可重復的功率控制，為您的最關(guān)鍵的工藝提供超穩定可靠的射頻功率。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
固定頻率的多樣化選擇：13.56至60MHz
功率范圍從600W到5.0kW
S-Technology提供超穩定的輸出
增強等離子體穩定性，實(shí)現最佳工藝環(huán)境
改進(jìn)的射頻控制可實(shí)現功率重復性
穩健的設計可實(shí)現高加工工具正常運行時(shí)間
④：CLB系列
CLB3000系列融合了我們CB3000平臺的所有創(chuàng )新。CLB發(fā)電機專(zhuān)門(mén)設計用于低頻和中頻應用，提供增強的精度和可重復的功率輸送。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
標準功率版本：600W、1.25kW、3.0kW或200W至10kW的可配置功率選項
寬低頻至中頻固定頻率——20kHz至2MHz
增強的供電精度
高度靈活性的平臺支持廣泛的中低頻應用
用于過(guò)程控制的超穩定調節射頻輸出
擁有成本低
⑤：RF匹配網(wǎng)絡(luò )
XP功率阻抗匹配網(wǎng)絡(luò )采用我們獨特的高速調諧算法設計，即使在高“Q”負載下也能實(shí)現精確的匹配調諧?？刂齐娐房焖?、準確、可靠地將輸入阻抗調整為50歐姆，以響應過(guò)程中負載特性的變化。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
寬功率范圍從50W到10kW
寬阻抗范圍，可覆蓋不同應用
直流偏置和射頻VP-P檢測器電路
定制以適合所有類(lèi)型的腔體
調整過(guò)程中的運行到運行和機組到機組的可重復性確保了更嚴格的過(guò)程控制
通過(guò)快速調整和等離子體穩定時(shí)間提高工具生產(chǎn)率
德國FuG Elektronik 射頻電源，提供最高水平的可靠性和可重復性
張振濤
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