Brooks Instrument質(zhì)量流量計4860型
Brooks Instrument精密流體測量和控制技術(shù)的制造商,產(chǎn)品主要應用在在重工業(yè)。在石油和天然氣精煉中?;瘜W(xué)和石化研究。制藥和生物制藥生產(chǎn)。太陽(yáng)能電池、LED、薄膜、光纖和半導體制造。
Brooks Instrument 4860型質(zhì)量流量計技術(shù)規格:
流量范圍(滿(mǎn)量程):50 sccm - 40 slpm
準確性:3.0% 滿(mǎn)額,1.0% FS(可選)
重復性:0.15% FS
響應時(shí)間:常閉閥:300 ms - <1 sec
壓力:150 磅/平方英寸/10 巴
診斷能力:狀態(tài)燈:MFC 運行狀況、網(wǎng)絡(luò )狀態(tài);警報:傳感器輸出、控制閥輸出、過(guò)溫、電源浪涌/驟降、網(wǎng)絡(luò )中斷;診斷/服務(wù)端口:RS485 通過(guò) 2.5 毫米插孔
模擬通信:0-5 伏直流,4-20 毫安
Brooks Instrument流量計常見(jiàn)型號:
SLA5853S3AAB2C2A1
SLAMF50S1BAF1G2A2
SLAMF50S1BAB1G2A2
SLAMF50S1BDD1G2A2
1350GAH3ABJT1AAA
SLA5850SB1AB1B2A1
Brooks Instrument質(zhì)量流量計4860型
周利云
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