PI V-817線(xiàn)性平臺系列工業(yè)精密

 PI V-817線(xiàn)性平臺系列工業(yè)精密
PI (Physik Instrumente)通過(guò)新的V-817高負載線(xiàn)性平臺系列擴大了其產(chǎn)品組合。從而PI為半導體、電子和激光行業(yè)中高度動(dòng)態(tài)和精密的加工、測試和檢驗任務(wù)的定位解決方案設定了一個(gè)性?xún)r(jià)比良好的新市場(chǎng)水準。V-817系列適用于傳感器和相機定位、激光焊接、光學(xué)和觸覺(jué)測試程序以及晶圓加工和檢驗等應用。

緊湊型XY壓電位移臺

德國PI XY位移平臺P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統

德國PI XY位移平臺P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺：PI V-817線(xiàn)性平臺吳亞男行程范圍可變的高精度XY納米定位器

XY壓電撓性位移臺

德國PI XY位移平臺P-612.2 XY壓電納米定位系統：緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺：大口徑薄型XY納米定位系統

P-733.2 XY壓電納米定位器：高精度XY光圈掃描儀

P-734 XY壓電掃描儀：具有最小跳動(dòng)和清晰光圈的高動(dòng)力系統

P-763緊湊型XY納米定位系統：光圈清晰低剖面，經(jīng)濟高效的壓電掃描儀，PI V-817線(xiàn)性平臺吳亞男用于生物識別：CCD芯片可在兩個(gè)軸上動(dòng)態(tài)移動(dòng)，以提高像素分辨率

P-713 XY壓電掃描儀：具有成本效益的低矮OEM系統

P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統

P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統：PI V-817線(xiàn)性平臺吳亞男快速XY(Z)平臺用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡

2.德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無(wú)維護，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤滑。PI V-817線(xiàn)177性1858平3804臺它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100%真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內工作。

平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考?？梢詫?shí)時(shí)地(取決于帶寬)主動(dòng)補償與另一軸發(fā)生的不必要的運動(dòng)串擾(主動(dòng)引導)。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內實(shí)現高跟蹤精度。

型號介紹：

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運動(dòng)壓電系統，用于納米定位和光纖對準

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統：PI V-817線(xiàn)177性1858平3804臺緊湊的多軸壓電系統，用于納米定位和光纖對準

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺：高精度納米定位器，最多可容納3個(gè)軸

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動(dòng)態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統

德國PI P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

德國PI P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統：快速XY(Z)平臺用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡

緊湊型精密XYZ納米掃描儀

德國PI P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：PI V-817線(xiàn)177性1858平3804臺高動(dòng)態(tài)納米定位系統，用于掃描探針顯微鏡

德國PI P-313 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：皮克計精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

 

3.德國PI 線(xiàn)性壓電撓性位移臺

PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導精度與最小的串擾相結合。這使得它們特別適合于計量，微觀(guān)過(guò)程，干涉測量或半導體芯片生產(chǎn)檢查系統中的參考應用。

帶有PICMA®壓電執行器驅動(dòng)器和撓性導軌的線(xiàn)性壓電平臺可用于最大1.5 mm的行程。

型號介紹：

壓電撓性線(xiàn)性平臺

德國PI P-630高動(dòng)態(tài)壓電納米定位系統：1軸大孔徑

德國PI P-753 LISA線(xiàn)性執行器和平臺：動(dòng)態(tài)穩定

德國PI P-752高精度納米定位臺：高動(dòng)態(tài)和穩定的壓電掃描儀，具有極其精確德國PI的引導

德國PI P-750壓電納米定位系統：PI V-817線(xiàn)177性1858平3804臺具有直接計量功能的高負載壓電驅動(dòng)納米定位系統

德國PI P-611.1線(xiàn)性壓電定位系統：廉價(jià)，緊湊的線(xiàn)性定位系統

德國PI P-712線(xiàn)性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統

德國PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線(xiàn)性精密定位器：可變行程范圍和軸配置

德國PI壓電撓性垂直平臺

德國PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置

德國PI S-303壓電移相器：高動(dòng)態(tài)，納米級精密壓電移相器

德國PI P-733.Z高動(dòng)態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑

德國PI P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器

德國PI P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器

特色定制

德國PI PI P-725KHDS

德國PI P-725KHDSPIFOC®高動(dòng)態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率

德國PI 4.PI 微型六足動(dòng)物

4，德國PI 微型六足動(dòng)物

德國PI Q-Motion®壓電位移臺內置了最小的6自由度運動(dòng)設備，也提供手掌大小的BLDC電機六足位移臺。

使用的運動(dòng)設計取決于應用中單個(gè)軸上運動(dòng)的重要性。經(jīng)典的平行運動(dòng)六腳架設計可實(shí)現最佳的整體性能均勻性。當需要相對較大的線(xiàn)性運動(dòng)時(shí)，最好采用薄型設計。

最好使用采用PI的專(zhuān)利PICMA®或PiezoWalk®驅動(dòng)技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。

德國PI 微型六足動(dòng)物H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：PI V-817線(xiàn)177性1858平3804臺快速，緊湊，高精度

德國PI 微型六足動(dòng)物H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對準的理想選擇

德國PI H-811.S2 6軸運動(dòng)六腳架：快速而緊湊的高動(dòng)態(tài)應用

德國PI H-810 6軸微型六腳架：最小空間內的高精度

德國PI P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強磁場(chǎng)中也能進(jìn)行高精度定位

德國PI 5.PI 微型線(xiàn)性平臺

 

5，德國PI 微型線(xiàn)性平臺

微型階段對于在可用空間有限的定位任務(wù)中至關(guān)重要。諸如Q-motion®，PIline®和PiezoWalk®之類(lèi)的壓電電機解決方案由于具有直接驅動(dòng)原理，因此可實(shí)現最緊湊的平臺。

型號介紹：

德國PI帶有Q-Motion®，PILine®和PiezoWalk®驅動(dòng)器的微型平臺

德國PI 微型線(xiàn)性平臺U-523PILine®線(xiàn)性平臺：帶有超聲波壓電電機的緊湊型線(xiàn)性平臺

德國PI 微型線(xiàn)性平臺Q-521 Q?Motion®微型線(xiàn)性平臺：具有位置控制，高分辨率和價(jià)格合理的最小線(xiàn)性平臺

德國PI PI N-565 1200精度最高的N-565線(xiàn)性平臺：PI V-817線(xiàn)177性1858平3804臺具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅動(dòng)器

德國PI U-521PILine®線(xiàn)性平臺：帶有超聲波壓電電機的緊湊型線(xiàn)性平臺

德國PI Q-545 Q Motion®精密線(xiàn)性平臺：壓電馬達帶來(lái)的高力和小設計，帶有PIMag®VC VoiceCoil和三相直線(xiàn)電機，步進(jìn)，直流和無(wú)刷直流電機的微型平臺

德國PI M-110•M-111•M-112緊湊型線(xiàn)性平臺：XY(Z)組合，具有各種驅動(dòng)器和行程范圍

德國PI L-306緊湊型精密Z工作臺：緊湊設計，多軸組合

德國PI L-505緊湊型線(xiàn)性平臺：帶直流或步進(jìn)電機

德國PI V-408PIMag®線(xiàn)性平臺：便宜，帶直線(xiàn)電機

德國PI V-508PIMag®精密線(xiàn)性平臺：多種選項可適應需求

德國PI L-402微型線(xiàn)性平臺：帶直流或步進(jìn)電機

德國PI A-141 PIglide MB微型線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承：高性能，無(wú)塵室兼容，可定制

德國PI V-522•V-524•V-528高性能PIMag®線(xiàn)性平臺：帶直接位置測量的音圈直接驅動(dòng)

德國PI M-122.2DD1微翻譯平臺：具有直接位置測量功能的緊湊型線(xiàn)性平臺

德國PI M-105微翻譯平臺：精密交叉滾子導軌，PiezoMike選件，XY(Z)組合

德國PI MTS-65微型線(xiàn)性平臺：工業(yè)用途的堅固設計

德國PI L-406緊湊型線(xiàn)性平臺：對于10公斤的負載

6.德國PI 微型旋轉臺

帶有壓電馬達的旋轉平臺使尺寸特別緊湊。

顯微鏡的許多應用要求自由光通過(guò)。這些緊湊的旋轉平臺還可以用于光學(xué)應用中，在這些應用中，它們可以可靠地定位濾光片，并具有出色的可重復性。

旋轉平臺可以安裝在沒(méi)有適配器的線(xiàn)性平臺上，并且可以靈活組合多軸定位系統。

德國PI 帶有Q-Motion和PILine®驅動(dòng)器的微型旋轉臺

德國PI U-622PILine®旋轉平臺：超聲波壓電馬達微型載物臺 ，PI V-817線(xiàn)177性1858平3804臺具有薄型設計的U-651旋轉平臺，快速PILine®直接驅動(dòng)和中央開(kāi)口

德國PI U-624PILine®旋轉平臺：超聲波壓電馬達微型載物臺

德國PI Q-632 Q Motion®旋轉臺：緊湊型壓電電機：轉臺直徑30 mm，帶有步進(jìn)，直流和無(wú)刷直流(BLDC)電機的微型旋轉臺

德國PI 微型旋轉臺V-611PIMag®旋轉平臺：高扭矩的扁平設計，最大承重2 kg

德國PI RS-40緊湊型旋轉臺：精確定位

德國PI 微型旋轉臺V-610緊湊型PIMag®旋轉臺：緊湊，適用于M-110的多軸組合

德國PI DT-80緊湊型旋轉臺：大光圈

德國PI DT-34微型旋轉臺：尺寸緊湊，帶直流或步進(jìn)電機

7.德國PI 空氣軸承和位移臺

空氣軸承臺用于需要無(wú)振動(dòng)運動(dòng)，速度必須高度恒定且要求最佳角度重復性的場(chǎng)合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和間隙效應。PIglide線(xiàn)性，旋轉和球面軸承是精密組件，可以集成和電動(dòng)化用于OEM，工業(yè)和研究市場(chǎng)。

型號介紹：

帶空氣軸承的線(xiàn)性平臺

德國PI 空氣軸承和位移臺A-131 PIglide VC音圈線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承：高性能微型納米定位系統

德國PI 空氣軸承和位移臺A-110 PIglide LC線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承：廉價(jià)的高性能納米定位臺

德國PI 空氣軸承和位移臺A-141 PIglide MB微型線(xiàn)性平臺，PI V-817線(xiàn)177性1858平3804臺帶空氣軸承：高性能，無(wú)塵室兼容，可定制

德國PI A-123 PIglide AT3線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承：高性能納米定位臺

德國PI A-121 PIglide AT1線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承：高性能小尺寸納米定位臺

帶空氣軸承的XY位移臺

德國PI A-351帶直線(xiàn)電機的MGS龍門(mén)系統：堅固的緊湊型設計，帶循環(huán)滾珠軸承導軌，可實(shí)現高負載能力。

德國PI A-341 PIglide HGS混合龍門(mén)系統：帶有空氣軸承和循環(huán)球軸承導軌的混合導軌設計，可實(shí)現高精度，薄型化。

德國PI A-322 PIglide HS平面掃描儀，帶空氣軸承：XY定位系統，分辨率為1 nm

德國PI A-311 PIglide IS平面掃描儀，帶空氣軸承：高性能，緊湊型XY納米定位系統

空氣軸承旋轉臺

德國PI A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉平臺：無(wú)摩擦，電動(dòng)

德國PI A-62x PIglide RM旋轉平臺，帶空氣軸承：無(wú)摩擦，是分度，定位，掃描，測量技術(shù)的理想選擇

德國PI PIglide運動(dòng)控制器

德國PI A-81x PIglide運動(dòng)控制器：用于1、2或4個(gè)軸

德國PI A-60x PIglide RT旋轉空氣軸承模塊：無(wú)摩擦，非電動(dòng)

德國PI A-10x PIglide RB線(xiàn)性空氣軸承模塊：無(wú)摩擦，非常適合定位，掃描和計量

德國PI A-65x PIglide HB：半球形空氣軸承：PI V-817線(xiàn)177性1858平3804臺無(wú)摩擦，是三軸旋轉運動(dòng)的理想選擇

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